Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
iLỜI CAM ĐOANTôi cam đoan đây là công trinh nghiên cứu của riêng tôi. Các so liệu, kết qua nêu trong luận án là trung thực và chưa từng được ai công b Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự dobố trong bat kỳ một công trinh nào khác.lác giàVũ Văn ThểiiLỜI CẤM ƠNNghiên cứu sinh xin dược gửi lời câm ơn chân thành den tập thê giáo viên hướng dần khoa học PGS. TS Trần Quang Dùng. PGS. TS Chư Đức Trinh đã tận tinh diu dắt, chi bào trong quá trinh học tập vả thực hiện luận án này.Nghiên cửu sin Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự doh cùng xin gửi lời cảm ơn den PGS. TS Vù Còng Hàm, TS. Bùi Thanh Tùng đà có những đóng góp quý báu giúp đờ nghicn cứu sinh hoán thành luận án.Xin camLuận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
on các đông nghiệp trong Bộ môn Cư học máy. Khoa Cơ khí đà dong hãnh cũng với nghiên cứu sinh trong suốt thời gian thực hiện luận án.Dặc biệt, nghiên iLỜI CAM ĐOANTôi cam đoan đây là công trinh nghiên cứu của riêng tôi. Các so liệu, kết qua nêu trong luận án là trung thực và chưa từng được ai công b Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự doào ihực hiện luận án.l ác giảVù Vãn TheiiiMỤC LỤCLÒI CAM ĐOAN............................................................iLỜI CAM ƠN.............................................................iiMỤC LỤC...............................................................iiiDANH MỤC' CÁC CHỪ VIẾT TÁ I VÀ K Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự doÝ HIỆU.................................viDANH MỤC CÁC BẢNG BIÊU.................................................IXDANII MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐÔ THỊ.......Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
....................................XMơ DÃƯ..................................................................1('hương 1 MEMS VÀ VI CÁM BIEN VẠN roc GÓiLỜI CAM ĐOANTôi cam đoan đây là công trinh nghiên cứu của riêng tôi. Các so liệu, kết qua nêu trong luận án là trung thực và chưa từng được ai công b Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự doS..................51.1.2.Các hiệu ứng sư dụng trong MEMS..............................71.1.3.Còng nghệ che tạo các thiết bị MEMS..........................81.2.Cam bicn vận tốc góc và ứng dụng................................101.2.1.Câm biến vận tốc góc kieu con quay co diet!.................101.2.2. Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự doCam biển vận lốc góc kiểu quang học.........................121.2.3.Cảm biến vận tốc góc vi cơ diện tử..........................131.3.Vi cảm biến vậnLuận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do
toe góc kiều dao dộng...........................151.3.1.Nguyên lý hoạt động.........................................151.3.2.Các thòng sô đánh giá chấtiLỜI CAM ĐOANTôi cam đoan đây là công trinh nghiên cứu của riêng tôi. Các so liệu, kết qua nêu trong luận án là trung thực và chưa từng được ai công b Luận án tiến sĩ Kỹ thuật: Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi cơ điện tử nhiều bậc tự do......................18iLỜI CAM ĐOANTôi cam đoan đây là công trinh nghiên cứu của riêng tôi. Các so liệu, kết qua nêu trong luận án là trung thực và chưa từng được ai công bGọi ngay
Chat zalo
Facebook