Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen ômenPhan Thị Thanh TTồngChuyên ngìinh:Vật lí li thuyết và vật lí toánMã số:62.44.01.03Người hướng dần: 1. GS.TS. Vũ Văn Hùng2PGS.TS. Nguyền ITianh Hải20132Mơ DÀU1Lý do chọn đề tàiKhuếch tán là một hiện tượng rất cư ban trong tự nhiên và nó xay ra trong tat cá các môi trường vật chat 11 j: Trong môi Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen trường chat khí, chat lóng, chat ran. trong dộng vật, thực vật, trong vũ trụ,... Do vậy, nghiên cứu dê hiếu các quá trinh khuếch tán chinh là nghiên cLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
ứu quy luật cơ ban cùa tự nhiên. Nó sè góp phan lâm cho con người hiếu rò về các quá trinh vận dộng cùa vật chat và góp phân khám phá ra nhùng quy luậ1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen khuếch lán trong tự nhicn là một đê lài hấp dần và luôn cô nhũng van de mới dặt ra dẻ nghiên cứu. Trong từng thời kì, con người đà đi sâu lìm hièu quá trinh khuếch lán ờ các mức độ khác nhau: lừ việc quan tâm nghiên cửu các hạt bụi di chuyên trong không khí, den việc nghiên cứu các chai màu lan truy Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen ền Irong chat long, quan sát sự thâm thấu các chất qua các màng dộng và thực vật, coi quá trinh khuếch tán là một hiện tượng lí sinh,...Từ dầu the kiLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
XX, con người dà nghiên cứu rất mạnh các thành phan vật chắt khác nhau trong các kim loại de tạo nén các hợp kim có tinh chất dặc biệt phục vụ cuộc số1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen huật khuếch tán các nguyên tứ lạp chất vào vật liệu bán dần cũng phát triển nhanh chóng nhẩm chế tạo các linh kiện bán dần, mạch tổ hợp. các linh kiện cam biên thông minh, linh kiện quang điện lư bán dẫn.... Các linh kiện bán dần vi diện tứ là nen tâng dề chế tạo các thiết bị diện tu- tiên tiến, các Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen hệ thong thiết bị truyền thông, công nghệ thông tin, máy tính quang lượng tứ, người máy, do lường điều khiển,... mà chủng đà, dang và sẽ phát triển rLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
ất mạnh trong the kĩ XXI này.3Có hàng tràm công trinh nghicn cứu ca li thuyết và thực nghiệm về sự tự khuếch tán và khuếch tán cùa các tạp chat trong 1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen việc do dạc chinh xác các đại lượng khuếch tán là một diet! rat khỏ, dõi hói phải có các trang thiết bị hiện đại và có đội ngù chuycn gia giàu kinh nghiệm. Vê mặt lí thuyết, có nhiêu phương pháp dã dược sử dụng dế nghiên cứu ve khuếch tán như phương pháp mô phong, phương pháp liên kèl chặt, phương p Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen háp the kinh nghiệm, các phương pháp ab initio,... ('ác phương pháp này dà thu dược nhùng thành công nhai định nhung các lính toán còn bị hạn che xà cLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
ác kết quả so thu dược cỏ dộ chính xác chưa cao so với các giả trị thực nghiệm. Vi vậy, nghiên cứu về sự lự khuếch tán và khuếch tán cua lạp chai tron1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen g kè mònien dà dược áp dụng nghiên cứu thảnh công doi với các lính chài nhiệt động và đàn hôi cua các linh thê phi điều hòa có cấu trite lập phương tâm diện, lập phương tám khối, cấu trúc kim cương và cấu trúc zinc blend (ZnS). Phương pháp này cũng dà dược sử dụng một cách có hiệu qua đê nghiên cứu Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen về hiện lượng tự khuếch lán trong các kim loại và hợp kim có cấu trúc lập phương lâm diện và lập phương lâm khối [7, 11]. Trong công trinh [5] “nghiênLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
cửu các tính chất nhiệt động và môđun đàn hoi cua linh thể và hợp chất bán dần bang phương pháp mômen” tác giá dã xây dựng dược các biêu thức giai lí1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen Young E.... cua tinh the và hợp chat bán dẫn có cấu trúc kim cương vả cấu trúc ZnS. Tuy nhiên, hiện tượng khuếch tán và các đại lượng vật li gan liền với hiện tượng khuếch tán như năng lượng kích hoạt Q.4hệ số trước hàm mù Do, hệ số khuếch tán D, ... của tinh thể và hợp chất bán dẫn vần chưa được đ Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen ề cập đen. Vì vậy, việc tiếp tục áp dụng phương pháp thống kê mômen dê nghiên cứu hiện tượng khuếch tán trong tinh thè bán dần có cấu trúc kim cương vLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
à cấu trúc ZnS là việc làm hết sức cân thiết nhấm hoàn thiện và phát triển lí thuyết này.Với tất cả nhũng li do như dà trinh bày ờ trên, chúng tôi dã 1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen tưọng và phạm vi nghiên cứuMục đích của luận án là xây dựng lí thuyết về sự tự khuếch tân và khuếch lán cua tạp chất trong linh thê bán dan dưới anh hưởng cùa nhiệt độ, áp suất và dộ biến dạng. Áp dụng các công thức li thuyết thu dược de tính số cho các đại lượng khuếch lán như nàng lương kích hoạt Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen Q. hệ so trước hàm mù Do và hệ so khuếch tán D của một so chất cụ the. Các kết quá tinh so sè được so sánh với thực nghiệm và các linh toán bàng lí tLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
huyết khác đê thây dược mức dộ tin cậy của phương pháp dà chọn.Dôi tượng và phạm vi nghiên cứu cua luận án là hai chai bán dan: Si có cấu trúc kim cươ1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen i lã Ga, As, Al, ỉ ỉ vã p (với nồng dộ 10’5 : 10*4 % so với nong dộ nguyên VLT gốc). Đày cùng lã các tạp chat dược dũng pho biến nhất trong công nghệ chế tạo các linh kiện bán dan.3Phương pháp nghiên cứuSừ dụng phương pháp thông kê mômen với khai tricn đến gàn đúng bậc bon cùa the năng tương tác dè Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen xác định độ dời của hạt khói vị tri cân bang và năng lượng tự do Helmholtz cùa hệ gôm N hạt trong tinh thè bán dan có càu5trúc kim cương và cấu trúc ZLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
nS. Từ đó xác định năng lượng kích hoạt ọ. hệ số trước hàm mũ Do và hệ sổ khuếch tán D của tinh thê.4Y nghía khoa học và thực tiễn cùa luận ánĐoi tượn1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen luận án góp phân bồ sung, hoàn thiện li thuyết về sự lự khuếch tán vả khuếch tán của tạp chat trong bán dần dặc biệt là bán dần si. Sự thành công cua luận án đà góp phân hoàn thiện và phái triền việc áp dụng phương pháp thong kê mômen trong nghiên cứu các tính chat của tinh thè.5Những đóng góp mói Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen ciía luận ánXây dựng dược các biêu thức giãi tích tông quát doi với các dại lượng khuèch lán như năng lượng kích hoại Q. hệ sô trước hàm mù Dfj và hệLuận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen
sò khuếch tán l) cho sự tự khuếch tán và khuếch tán cứa tạp chất trong bán dần theo các cư chề khuếch lán khác nhau. C ác đại lưựng này được xem xét d1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen i. GaAs và sự khuếch tán của 5 tạp chất trong Si là (ìa. As. AI, B vả p. Các kết quả tính so deu dược so sánh với thực nghiệm và các tính loan bang lí thuyết khác.Luận án cũng đà làm sáng to được một so van đề đang còn tranh cài. Dó là cư chế khuếch tán nào SC chiếm ưu thế trong sự lự khuếch lán và Luận án tiến sĩ nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bằng phương pháp thống kê mômen cư che nào là dóng vai trò chù dạo trong sự khuếch tán của các tạp chất Ga, As, Al, lì và p trong tinh thề Si.1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê mô1BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠOĐẠI HỌC Sư PHẠM HÀ NỘI • • • •Nghiên cứu sự tự khuếch tán và khuếch tán của tạp chất trong bán dẫn bang phưong pháp thong kê môGọi ngay
Chat zalo
Facebook