Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIÊT KÉ VÀ MÒ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÂP HÀNH MŨI DỎ QUÉT ĐỊNH HƯỚN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano NG ỨNG DỤNG KHẢC CÁC CÃU TRÚC NANOLUẬN ÁN TIÉN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆUHà Nội - 2021Bộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiẽuNGHIÊN CỨU THIẼT KÉ VÀ MỎ PHÒNG HOẠT ĐỘNG CỦA BỘ VI CHÀP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG KHÁC CÁC CÂU TRÚC NANONgành: Khoa học Vật liệuMã số: 944012 Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano 2LUẬN ÁN TIÉN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆUNGƯỜI HƯỚNG DÀN KHOA HỌC:1PGS. TS. CHU MẠNH HOÀNG2TS. VŨ THU HIÊNHà Nội - 2020LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây là còNghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
ng trình nghiên cứu cúa riêng tôi dưới sự hướng dẫn của PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng và TS. Vũ Thu Hiên. Các sõ liệu và kết quà trong luận án là hoàn toàn BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIÊT KÉ VÀ MÒ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÂP HÀNH MŨI DỎ QUÉT ĐỊNH HƯỚN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano uLỜI CẢM ƠNTrước hêt, tôi xin bày tỏ lòng kính trọng và biêt ơn sâu sắc đên PGS.TS. Chu Mạnh Hoàng và TS. Vũ Thu Hiên, những người thây dă truyên động lực nghiên cứu cho tôl, đẳ tận tình hướng dẫn, giúp dở và tạo mọi điêu kiện thuận lợi cho tôi trong suôt quá trình học tập, nghiên cứu và thực hiện l Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano uận án. Nhò' sự chi bảo tận tình cùa các thây, tôi đă có dược những kiên thức vê khoa học vật liệu, vê các công nghệ chê tạo, những kinh nghiệm và phưNghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
ơng pháp nghiên cứu, phương pháp viêt bài và đăng bài trên các tạp chí ISI và trên hêt là mờ ra con đường nghiên cứu khoa học tỉêp theo cùa bàn thân.TBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIÊT KÉ VÀ MÒ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÂP HÀNH MŨI DỎ QUÉT ĐỊNH HƯỚN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano vật chắt và tinh than giúp tôi hoàn thành luận án.Tỏi xin chân thành càm ơn GS.TS. Vũ Ngọc Hùng, cùng các anh, chị, em trong phòng thí nghiệm MEMS, Viện ITIMS: ThS. Lê Văn Tâm, TS. Nguyễn Ngọc Minh, NCS. Nguyễn Thanh Hương, TS. Nguyền Văn Minh, TS. Nguyễn Thị Quỳnh Chi, TS. Ngỏ Đức Quân, ThS. Nguyễn Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano Ngọc Sơn... đã chia sè những kinh nghiệm nghiên cứu khoa học, đã động viên và có những tháo luận góp ý giúp tôi hoàn thành luận án.Tôi xin chân thànhNghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
cảm ơn TS. Nguyền Văn Toán đã tạo điêu kiện và hướng dẫn tôi sử dụng các thiêt bị và làm việc trong phòng sạch.Tôi cũng xin được gừi lời càm ơn tới bBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIÊT KÉ VÀ MÒ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÂP HÀNH MŨI DỎ QUÉT ĐỊNH HƯỚN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano g vững chắc, là chỗ dựa tinh thân đê tôi có thê yên tâm nghiên cứu trong suõt thời gian vừa qua.Hà Nội, ngày .... tháng .... năm 20....Tác giàĐặng Văn HiếuMỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN.....................................................iLỜI CÀM ƠN......................................................li Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIÊT KÉ VÀ MÒ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÂP HÀNH MŨI DỎ QUÉT ĐỊNH HƯỚNGọi ngay
Chat zalo
Facebook