Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu: WORD

Số trang: 233 Trang

Tài liệu: ✅ ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT

TẢI VỀ

Nội dung chi tiết: Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

TWt=TƯỜNG £PHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VA CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỬ KHÍ TRIES VÀ KHÂ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÔNG NGHỆ C

Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch CHỂ TẠO VI MẠCH • • •Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tứMã số: 9520203LUẬN ÁN TIỄN SĨ KỸ THUẬTHƯNG YÊN - 2022https: //k hot h u vien .comBộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO

TẠO TRƯỜNG ĐẠLH.Ọ.C SV PHAM KỲ THVÂT HƯNG YÊNPHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VA CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỨ KHÍ TRIES VÀ Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

KHÀ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÒNG NGHỆ CHẾ TẠO VI MẠCHChuyên ngành: Kỹ thuật diện tửMã sô: 9520203LUẬN ÁN TIỄN SĨ KỸ THUẬTNGƯỜI HƯỚNG DÀN KHOA HỌC:1.PGS. T

Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

S Đỗ Anh Than2.PGS. TS Phạm Ngọc ThẳngHƯNG YÊN - 2022iLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi. Các số liệu, kết quà nê

TWt=TƯỜNG £PHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VA CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỬ KHÍ TRIES VÀ KHÂ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÔNG NGHỆ C

Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch ầy đù.Hưng Yên, ngày tháng nỗmTác già luận ánPhan Thị TươiiiLÒI CẢM ƠNTrước tiên, tôi bày tò sự kính trọng và xin gùi lời càm ơn sâu sâc tới tập thẽ g

iáo viên hướng dán, PGS.TS Đò Anh Tuấn và PGS.TS Phạm Ngọc Thâng đã luôn luôn nhiệt tình chì bào và luôn động viên đẽ tôi hoàn thành bàn luận án.Tiếp Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

(heo, lôi gửi lời càm ơn tới Phòng Đào tạo, Trường Đại học SPKTHY cùng các cán bộ công tác tại trường đã giúp đờ lôi trong quá trình học tập. nghiên c

Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

ứu khoa học và có nhùng ý kiên đóng góp quý báu về nội dung, bô cục của luận án.Tôi xin gửi lời càm ơn đến tập thế các thây cô nơi tôi công tác tại kh

TWt=TƯỜNG £PHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VA CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỬ KHÍ TRIES VÀ KHÂ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÔNG NGHỆ C

Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch ùng, tôi muốn gùi lời cám ơn tới gia đình tôi, đã luôn động viên tôi đẽ tôi có động lực và quyết tâm thực hiện thành công luận án.Hung Yên, ngày tháng

nãmTác giả luận ánPhan Tlìị Tươiiii Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

TWt=TƯỜNG £PHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VA CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỬ KHÍ TRIES VÀ KHÂ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÔNG NGHỆ C