Luận văn thạc sĩ ứng dụng sensor gia tốc mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung luận văn ths kỹ thuật vô tuyến điện tử và thông tin liên lạc 2 07 00

➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu: PDF

Số trang: 113 Trang

Tài liệu: ✅ ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT

TẢI VỀ

Nội dung chi tiết: Luận văn thạc sĩ ứng dụng sensor gia tốc mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung luận văn ths kỹ thuật vô tuyến điện tử và thông tin liên lạc 2 07 00

Luận văn thạc sĩ ứng dụng sensor gia tốc mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung luận văn ths kỹ thuật vô tuyến điện tử và thông tin liên lạc 2 07 00

ĐẠI HỌC QƯÓC GIA HÀ NỌITRtrỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ • • •Vũ Việt HùngỨNG DỤNG SENSOR GIA TÓC ME MS TRONG VIỆC ĐO GÓC NGHIÊNG VÀ ĐO Độ RUNGLUẬN VÃN THẠC S

Luận văn thạc sĩ ứng dụng sensor gia tốc mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung luận văn ths kỹ thuật vô tuyến điện tử và thông tin liên lạc 2 07 00 SỸHà Nội- 2005ĐẠI HỌC QUỎC GIA HÀ NỘITRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHẸ^CŨLeíVŨ Việt HùngỨNG DỤNG SENSOR GIA TÓC MEMSTRONG VIỆC ĐO GÓC NGHIÊNG VÀ ĐO ĐỘ RUNGChuy

ên ngành: Kỹ thuật vụ tuyển điện tứ và thụng tin liên lạcMã số:2.07.00LUẬN VĂN THẠC SỸCán bộ hướng dẫn: GS.TSKH Nguyễn Phú ThùyHà nội - 2005MỤC LỤCLời Luận văn thạc sĩ ứng dụng sensor gia tốc mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung luận văn ths kỹ thuật vô tuyến điện tử và thông tin liên lạc 2 07 00

cám ơnivCác chừ viết tắtVDanh sách báng biếuviDanh sách hình vèviiMờ đầuixChương 1 Tống quan về các hệ vi cơ điện tử (MEMS)11.1Giới thiệu về MEMS11.2

Luận văn thạc sĩ ứng dụng sensor gia tốc mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung luận văn ths kỹ thuật vô tuyến điện tử và thông tin liên lạc 2 07 00

công nghệ chế tạo MEMS31.2.1Còng nghệ vi cơ khối41.2.2Công nghệ vi cơ bề mật41.2.3Công nghệ LIGA51.3Sensor gia tốc MEMS61.3.1Sensor61.3.2Sensor gia tố

ĐẠI HỌC QƯÓC GIA HÀ NỌITRtrỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ • • •Vũ Việt HùngỨNG DỤNG SENSOR GIA TÓC ME MS TRONG VIỆC ĐO GÓC NGHIÊNG VÀ ĐO Độ RUNGLUẬN VÃN THẠC S

Luận văn thạc sĩ ứng dụng sensor gia tốc mems trong việc đo góc nghiêng và đo độ rung luận văn ths kỹ thuật vô tuyến điện tử và thông tin liên lạc 2 07 00 ói sensor gia tốc dựa trên vật liệu áp điện17

ĐẠI HỌC QƯÓC GIA HÀ NỌITRtrỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ • • •Vũ Việt HùngỨNG DỤNG SENSOR GIA TÓC ME MS TRONG VIỆC ĐO GÓC NGHIÊNG VÀ ĐO Độ RUNGLUẬN VÃN THẠC S