Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn ô đã đóng góp nhiêu ý kiên khoa học quý báu cũng nhu' tạo mọi điều kiện thuận lợi đẽ tôi hoàn thành luận án này.Tôi xin trân trọng cảm ơn GS.TS. Nguyên Văn Hiếu, GS.TS. Nguyên Đức Hòa và tập thế cán bộ Phòng thí nghiệm nghiên cứu phát triẽn và ứng dụng Cảm biến nano (ITIMS) đã luôn nhiệt tình giúp đ Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn ờ. chia sé kinh nghiệm và gợi mở nhiều ý tưởng quan trọng đẽ lôi thực hiện các nghiên cứu cùa luận án. Tôi xin gửi lời cám ơn TS. Phan Thị Lê Minh vàNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
các dông nghiệp tại Bộ môn Y vật lý - Trường Đại học Y Hà Nội cùng các nghiên cứu sinh, học viên cao học cùa nhóm Câm biên khí - viện ITIMS đã luôn đôLỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn ào tạo Trường Đại học Bách khoa Hà Nội và Trường Đại học Y Hà Nội đã tạo điều kiện cho tôi được học tập và nghiên cứu.Cuối cùng, tôi xin giri lời cám ơn tới gia đình, bạn bè đã luôn động viên, khích lệ đê tôi hoàn thành luận án này.Tác giàTrần Thị Ngọc Hoa1LỜI CAM ĐOANTác giả xin cam đoan nội dung c Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn úa luận án là công trình nghiên cứu cúa riêng tôi dưới sự hướng dân của PGS.TS. Nguyên Văn Duy và PGS.TS. Đặng Thị Thanh Lê. Các số liệu và kết quả trNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
ong luận án trung thực và chưa được tác giã khác công bõ.Giáo viên hướng dầnHà Nội, ngày tháng năm 2021Tác giàPGS.TS. Nguyền Vãn DuyTrân Thị Ngọc HoaPLỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn h hưởng lớn đến ô nhiêm môi trường và ô nhiêm không khí [1]. Tô chức Y tê thẽ giới báo cáo năm 2018 có khoảng 60000 người tử vong hàng năm ở Việt Nam có liên quan đến ô nhiêm không khí. Ò nhiêm không khí do các khí hoá học độc hại trong môi trường như NƠ2, co, H2S và SƠ2 với nồng độ nhất định đèu gâ Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn y ra nhũng tác động ờ các mức độ khác nhau tới con người. Trong đó H2S là một loại khí vô cùng nguy hiẽm, ngay cà ở mức nồng độ (hấp (cỡ ppm) vì khí HNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
2S là một loại khí rất độc hại, không màu, dề cháy, có mùi trúng thối [1]. Khí H2S có nguòn gốc rất đa dạng nó có thế sinh ra trong quá trình sàn xuấtLỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn thài [2,3]. Tuy nhiên, hầu hết khí sinh học tại Việt Nam được sừ dụng không có sự kiếm soát hoặc khừ lun huỳnh [3]. Các ành hường của khí H2S đến con người được tóm tât trong Bàng 1.1 [4]. Giới hạn ngưỡng cùa khí H2S là 0,003 ppm trong 8 giờ pho’i nhiêm [4] tuy nhiên nồng độ ảnh hường trực tiếp đến Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn sức khỏe con người ờ mức thấp hon rất nhiều [5]. Theo tiêu chuẩn an toàn của Viện Quốc gia vẽ An toàn sức khỏa nghè nghiệp Mỹ nồng độ khí NO2 cho phépNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
là nhô hơn 3 ppm, nồng độ H2S cho phép được đê xuất bời Hội đòng tư vãn khoa học về chất độc hại gây ô nhiẽm không khí trong khoảng từ 20 - 100 ppb [LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn rọng và là vấn đê chính trong việc sử dụng an toàn khí sinh học và quy trình công nghiệp [8].Vì vậy, nhiều loại cảm biến vật liệu nano có câu trúc khác nhau đà được sử dụng đế kiếm soát khí H’S, NO’ [10-14] ... trong đó cám biến khí dựa trên oxit kim loại bán dán (SMO) là phố biến vì các ưu điểm cùa Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn nó nhu’ chi phí thấp, độ nhạy cao với các loại khí, kích thước nhó gọn, tính di động, dê sử dụng và tiêu thụ điện năng thãp. Cám biến khí oxit kim loNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
ại bán dần SMO có tiềm năng đặc biệt cho phép phát hiện13hơn 150 loại khí [14-16]. Trong các loại oxit kim loại bán dẫn càm biến khí oxit thiếc (SnOz)LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn a nó trong việc cài thiện hiệu suất cùa càm biến [17,18]. Tuy nhiên càm biến oxit SnO: lại cho thấy độ nhạy tương dõi thấp đối với khí HíS và độ chọn lọc kém với các khí gây ô nhiêm không khí như NHs, H?s và co [19,20] do đó đà có rãt nhiêu nghiên cún nhằm cãi thiện độ nhạy của cảm biên SnO’ với khí Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn H?s [21-24].Bâng ỉ.l. Ảnh hưởng của việc tiẽp xúc khí H1S [4]Nóng độ (ppm)0.003 3-10 50 - 100 100-0,02 200250 500 500-5001000Các nhà Khoa học đà đưaNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
ra nhiều biện pháp khác nhau nhâm tăng cường độ nhạy khí H:S của cảm biên khí cùa oxit kim loại bán dần bằng cách pha tạp [ 14] hoặc biên tính bê mặt LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn ặt thường là kim loại quý đẽ tăng cường tính chãt nhạy khí của cảm biến, tuy nhiên chúng đât tiên dần đến giá thành sàn phẩm cao [22,28]. Do đó việc sừ dụng các vật liệu khác biến tính bê mặt dây nano SnO: nhâm nâng cao hiệu suất nhạy khí của câm biên đà trở thành một trong nhùìig líu tiên trong nhừ Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn ng năm gân đây [29,30]. Cẩu trúc nano dị thẽ giừa hai vật liệu bán dán khác nhau hãp dán các nhà khoa học vì nhừng tính chất độc đáo của nó như kích tNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
hước nhỏ, tỷ lệ diện tích riêng bề mặt lớn đà cho nhừng ứng dụng đa lĩnh vực hơn so với các cấu trúc nano riêng lè nguyên khối14[31-35]. Các vật liệu LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn o gồm các oxit kim loại bán dằn loại n như ZnO, WO3, SnƠ2, T1O2, In?O3, CdO .... loại p như CuO, CnCh, C03O4, NiO .... nhùng vật liệu này được sứ dụng nhằm lãng cường hoạt động bề mặt do hình thành lớp tiẽp xúc dị thẽ cùng loại hạt tải n - n và khác loại hạt tải n - p của vật liệu biên tính [6, 30]. Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn Trên cơ sờ phân tích các kẽt quà đã nghiên cứu trên, chúng tôi đã chọn đề tài nghiên cứu: "Nghiên cứu chẽ tạo và tính nhạy khí cùa cấu trúc dị thẽgiừaNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
dây nano SnO? và một sõ oxit kim loại bán dản ”.2.Mục tiêu nghiên cứu-Chế tạo thành công cấu trúc dị thẽ giừa dây nano SnƠ2 và một số oxit kim loại bLỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn oxit biến tính (SMO) cho đáp úng khí tổt nhất cũng như nhiệt độ làm việc tối ưu của các câu trúc dị thể này.LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy côGọi ngay
Chat zalo
Facebook