Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIẾN CỨU ÁNH HƯỞNG CÚA CÁC THÔNG SÒ CẤU TẠO ĐỄN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CỦA BỘ VI C Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v CHẢP HÀNH MEMS KIỄU TĨNH ĐIỆN RĂNG Lược VÀ ĐIỆN NHIỆT CHỮ VLUẬN ÁN TIẾN Sĩ KỸ THUẬT CO’ KHÍHà Nội - 2021BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIÊN CỨU ÁNH HƯỞNG CỦA CÁC THÔNG SÕ CẤU TẠO ĐÉN CHAT LƯỢNG LÀM VIỆC CÙA BỘ VI CHÃP HÀNH MEMS KIÉU TĨNH ĐIỆN RĂNG Lược VÀ ĐIỆN Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v NHIỆT CHỮ VNgành: Kỹ thuật cơ khí Ma số: 9520103LUẬN ÁN TIỂN Sĩ KỸ THUẬT CO’ KHÍNGƯỜI HƯỚNG DÃN KHOA HỌC:1PGS.TS. Phạm Hồng Phúc2PGS.TS. Vũ Công HamHNghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
à Nội - 2021LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây là công (rình nghiên cứu cùa cá nhân (ôi dưới sự hướng dần của tập thế hướng dần và các nhà khoa học. TàiBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIẾN CỨU ÁNH HƯỞNG CÚA CÁC THÔNG SÒ CẤU TẠO ĐỄN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CỦA BỘ VI C Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v ập thẽ hướng dânHà Nội, ngày thánnăm92021Nghiên cứu sinhPGS.TS. Phạm Hông PhúcHoàng Trung KiênLỜI CẢM ƠNTrài qua một (hời gian dài, khó khăn và nhiều thử thách tác già cùng đã hoàn thành bàn luận án cùa mình. Trong suốt quá trình đó, tác già đã luôn nhận được sự giúp đờ hó trợ cùa các đơn vị chuyên Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v môn, tập (hẽ hướng dân, các nhà khoa học, gia đình và đông nghiệp.Qua đây lác già muốn gửi lời cám ơn sâu sâc tới lập thế hướng dản PGS.TS. Phạm HôngNghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
Phúc. PGS.TS. Vù Công Hàm. những người đà định hướng, tận ùnh hướng dàn chuyên môn và bố sung kịp thời nhừng kiến thức liên quan. Xin chân thành cám ơBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIẾN CỨU ÁNH HƯỞNG CÚA CÁC THÔNG SÒ CẤU TẠO ĐỄN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CỦA BỘ VI C Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v ng góp chuyên môn quý báu và cung cấp tài liệu tham kháo đẽ tác già hoàn thành luận án này.Tác già xin cám ơn Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu (ỈTIMS), viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ (AIST) trường Đại học Bách khoa Hà Nội đà hô trợ về thiết bị thí nghiệm, hướng dần vận hành đẽ tác giả Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v có thê hoàn thành một số quy trình thực nghiệm của luận án.Tác giá cùng xin cám ơn tới Đãng ủy. Ban giám hiệu và các đông nghiệp tại Học viện Kỷ thuậNghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
t Quân sự đã đồng ý vè chù trương, tạo đièu kiện thuận lợi đế tác già sâp xẽp thời gian vừa hoàn thành nhiệm vụ chuyên môn vừa hoàn thành luận án của BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIẾN CỨU ÁNH HƯỞNG CÚA CÁC THÔNG SÒ CẤU TẠO ĐỄN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CỦA BỘ VI C Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v tốt nội dung nghiên cứu này.Tác già luận ánHoàng Trung KiêniiMỤC LỤCBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIẾN CỨU ÁNH HƯỞNG CÚA CÁC THÔNG SÒ CẤU TẠO ĐỄN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CỦA BỘ VI CGọi ngay
Chat zalo
Facebook