Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol
Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol
TRƯỜNG ĐẠI HỌC VINH KHOA DIỆN TỬ VIỀN THÔNGĐỒ ÁNTÓT NGHIỆP ĐẠI HỌCDe tài:THIÉT KẾ MÔ PHỎNG VI GƯƠNG SỬ DỤNG PHÁN MÈM COMSOLSinh viên thực hiện : LƯƠNG Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol G TI IE MẠNHLớp: 52K - DTTTGiảng viên hướng dần : PGS.TS. NGUYỀN THỊ QUỲNH HOANGHẸ AN 5/2016MỤC LỤCLỜI MỚ ĐẤU...........................................................ivTÕM TẤT DỒ ÁN.........................................................VDANH MỤC HÌNH VÈ VÀ DỒ THỊ................................. Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol .........viiDANH MỤC BÁNG BIẾU...................................................ixTHI ẠT NGỮ’ VIẾT TẤT...............................................Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol
...XChương 1 Giói thiệu về hệ thống vi co diện tứ MEMS....................11.1rống quan về MEMS...............................................11.1.1GiTRƯỜNG ĐẠI HỌC VINH KHOA DIỆN TỬ VIỀN THÔNGĐỒ ÁNTÓT NGHIỆP ĐẠI HỌCDe tài:THIÉT KẾ MÔ PHỎNG VI GƯƠNG SỬ DỤNG PHÁN MÈM COMSOLSinh viên thực hiện : LƯƠNG Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol và ngoái nước........................21.2 Còng nghệ chè lạo các sán phâm ME.MS.............................31.2.1Quang khắc - Lithography...................................41.2.1.1Câm quang...........................................51.2.1.2Quang khắc bang ánh sáng- Photolithography.........51.2.1.3Q Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol uang khắc bang laze - Electron Beam Lithography....51.2.2Vi cơ khối.................................................61.2.2.1Ăn mòn ướt - Wet Etching..Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol
..........................61.2.2.2Ãn mòn khô - Dry Etching............................71.2.3Vi cơ bề mặt..............................................TRƯỜNG ĐẠI HỌC VINH KHOA DIỆN TỬ VIỀN THÔNGĐỒ ÁNTÓT NGHIỆP ĐẠI HỌCDe tài:THIÉT KẾ MÔ PHỎNG VI GƯƠNG SỬ DỤNG PHÁN MÈM COMSOLSinh viên thực hiện : LƯƠNG Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol ho vi gương......................................9Churưng 2 Giới thiệu về phẩn mềm COMSOI................................1 12.1Giới thiệu phần mềm COMSOL.....................................112.2('ác môi trường làm việc trong COMSOI............................1I2.2.1 MÔI trường làm việc............. Thiết kế mô phỏng vi gương sử dụng phần mềm comsol ............................112.2.2MÔI trường nghiên cửu.....................................12TRƯỜNG ĐẠI HỌC VINH KHOA DIỆN TỬ VIỀN THÔNGĐỒ ÁNTÓT NGHIỆP ĐẠI HỌCDe tài:THIÉT KẾ MÔ PHỎNG VI GƯƠNG SỬ DỤNG PHÁN MÈM COMSOLSinh viên thực hiện : LƯƠNGTRƯỜNG ĐẠI HỌC VINH KHOA DIỆN TỬ VIỀN THÔNGĐỒ ÁNTÓT NGHIỆP ĐẠI HỌCDe tài:THIÉT KẾ MÔ PHỎNG VI GƯƠNG SỬ DỤNG PHÁN MÈM COMSOLSinh viên thực hiện : LƯƠNGGọi ngay
Chat zalo
Facebook