Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion
Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion
Bộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG dại học bách khoa hà nộiPHẠM HỔNG TUẤNNGHIÊN CỨU NÀNG CAO CHẤT LƯỢNG MÀNG MỎNG QUANG HỌC BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC HƠI CÓ TRỢ Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion Ợ GIÚP CỦA CHÙM IONLUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬTHÀ NỘI-2007BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRUÔNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIPHẠM HỔNG TITANNGHIÊN CỨU NÀNG CAO CHẤT LƯỢNG MÀNG MỎNG QUANG HỌC BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC HƠI CÓ TRỢ GIÚP CỦA CHÙM IONChuyên ngành: CÒNG NGHỆ CHÊ TẠO MÁY Mã số: 62.52.04.01LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỶ THUẬ Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion TNgười hướng (lẫn khoa học: PGS.TS. TRẤN ĐỊNH TƯỜNG TS. ĐẢNG XUÂN CỤHÀ NỘI-20073LỜI CÁM ƠNTrước hết tôi muốn bày tò lòng biết ơn sâu sắc tới Bộ giáo dLuận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion
ục và Đào tạo. Lành đạo Trường Đại học Bách khoa Hà nội. Lãnh đạo Khoa cơ khí. Lành đạo Bộ món cơ khí chính xác và quang học. Lành đạo Trung tâm QuangBộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG dại học bách khoa hà nộiPHẠM HỔNG TUẤNNGHIÊN CỨU NÀNG CAO CHẤT LƯỢNG MÀNG MỎNG QUANG HỌC BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC HƠI CÓ TRỢ Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion n Cự là các thày trực tiếp hướng dãn tôi. Các Thầy đã động viên, hướng dãn tận tình, và tạo những điều kiện quan trọng giúp tôi hoàn thành bân luận án này.Trong quá trình nghiên cún tói đã nhận được sự giúp dờ của các nhà khoa học quốc té: GS. Angus Macleod. Giám đốc cõng ty Thin Film Center Inc.. H Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion oa kì; TS. Detlev Ristau và TS. Hendrik Ehlers. Phòng thí nghiệm Linh kiện quang học Laser-Trung tâm Laser Hanover. Cộng hoà Liên bang Đức; TS. HamiutLuận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion
Ktipíer. Viện Vật lí. Đại học kì thuật Chemnitz. Cộng hoà liên bang Đức. Nhân dịp này tôi muôn bày tò lòng biết ơn chân thành tới các õng.Tòi xin châBộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG dại học bách khoa hà nộiPHẠM HỔNG TUẤNNGHIÊN CỨU NÀNG CAO CHẤT LƯỢNG MÀNG MỎNG QUANG HỌC BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC HƠI CÓ TRỢ Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion g dụng cõng nghệ đã tận tình giúp đờ trong suốt quá trình học tập và nghiên cứu.4MỤC LỤCTrangLời cam đoan.......................................................iDanh mục các hình vẽ, các bàng....................................iiDanh mục các kí hiệu, các chừ viết tắt..........................viiiMớ Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion đẩu.............................................................1Chương 1. Chat lượng màng mong quang học và phương pháp bay hơi có trợ giứp cừa chùmLuận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion
ion1.1.Anh hường cùa chiết sua't tới chất lượng màng mòng quang học.51.2.Vi cáu trúc của màng mỏng và ảnh hường cùa nó đến chiết suát.71.3.Anh hường cBộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG dại học bách khoa hà nộiPHẠM HỔNG TUẤNNGHIÊN CỨU NÀNG CAO CHẤT LƯỢNG MÀNG MỎNG QUANG HỌC BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC HƠI CÓ TRỢ Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion trong chân không.................131.4..2. Phương pháp phún xạ (Sputtering).........................141.4.3. Lựa chọn phương pháp chẽ tạo màng móng.....................151.5.Phương pháp bay hơi có trợ giúp cùa chùm ion (phương pháp IAD)... 161.5.1.Cơ sờ của phương pháp bay hơi có trợ giúp cùa chùm Luận án tiến sĩ nghiên cứu nâng cao chất lượng màng mỏng quang học bằng phương pháp bốc hơi có trợ giúp của chùm ion iơn.....16Bộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG dại học bách khoa hà nộiPHẠM HỔNG TUẤNNGHIÊN CỨU NÀNG CAO CHẤT LƯỢNG MÀNG MỎNG QUANG HỌC BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC HƠI CÓ TRỢBộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG dại học bách khoa hà nộiPHẠM HỔNG TUẤNNGHIÊN CỨU NÀNG CAO CHẤT LƯỢNG MÀNG MỎNG QUANG HỌC BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC HƠI CÓ TRỢGọi ngay
Chat zalo
Facebook