Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HÀI HẬUCHẾ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYẾN PHA CẪU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO3 PHA TẠP F Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe FeLUẬN VĂN THẠC sĩ QUANG HỌCTHÁI NGUYÊN, 5/20182MỜ ĐẦUNhùng năm gân đây, vật liệu có kích (hước nanô mét đà được quan tâm nghiên cứu mạnh mẽ bời khà năng ứng dụng của chúng. Các kẽt quà nghiên cứu vê vật liệu nanô đã mở ra những triến vọng úng dụng to lớn dựa trên các tính chất quang - điện - từ, đế Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe tạo ra các thiết bị, các linh kiện nhâm phục vụ, nâng cao đời sổng con người. Hiện nay, các màng mỏng điện môi - sắt điện cấu trúc perovskite như BaTLuận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
iOa (BTO) S1TÌO3, PbTiOs, PbZrO, PbZri-xTixCh, CaCu2TĨ3Oi2... đã được tích hợp vào nhiêu bộ phận cùa con chip đặc biệt là các tụ điện kích thước nanom1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HÀI HẬUCHẾ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYẾN PHA CẪU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO3 PHA TẠP F Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe được ứng dụng rộng rài nhất. Hàng năm có hàng tỷ tụ điện ứng dụng màng mòng BTO (hoặc hạt nano BTO) được sừ dụng trong các thiết bị điện tử hiện đại nhờ có độ bên hóa học và hằng số điện môi cao ở nhiệt độ phòng. Đặc biệt là giá thành rẫt rẻ, giá thành chi bâng 1/100 các tụ điện truyên thống với điệ Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe n cực Ag/Pd đắt tiên. Đặc biệt, gân đây nhiều nhóm nghiên cứu [1,6-10] đà thu được đặc tính mukiferroics của vật liệu BTO pha tạp các nguôn tô 3d (nhưLuận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
Fe, Mn) ở nhiệt độ phòng thì tiêm năng ứng dụng của màng mòng BTO (và BTO pha tạp các nguôn tổ 3d) hiện nay còn lớn ho*n nhiêu. Đó là ứng dụng trong 1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HÀI HẬUCHẾ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYẾN PHA CẪU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO3 PHA TẠP F Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe hông tự xóa sắt điện (FeRAMs), bộ nhớ truy cập ngấu nhiên động (DRAM), linh kiện nhớ điện trở (RRAM), nhớ điện dung (Capacitance Memory Effect)... [1,4].Song song với việc nghiên cứu các vật liệu dạng khôi, các vật liệu BTO pha tạp Fe dạng màng mòng với các tính chất nối trội của chúng cũng đà thu h Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe út3dược sự quan lâm nghiên cửu dặc biệt. Bên cạnh việc khám phá ra hiệu ứng lừ diện lứn lại nhiệl dộ phòng, màng mỏng BTO pha lạp l’e cùng dược quan lLuận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
âm nghiên cứu bời lý do khác dó là khà năng chẽ lạo dưực những màng mỏng có châì lưựng cao cùng nhu' lạo dưực những dơn linh ihề da ihành phân. Các mà1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HÀI HẬUCHẾ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYẾN PHA CẪU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO3 PHA TẠP F Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe axy chùm phân tứ (Molecular Ream Epitaxy - MfíE) và phương pháp lẳng đọng hoá học tử pha hơi kim loại - hừu CƯ (Metal- Organic Chemical Vapour Deposition -MOCVD). Tuy nhiên, phương pháp phố biên nhất và có nhiêu ưu điếm nhất là phương pháp bốc bay bằng xung lade (Pulse Laser Deposition - PLD). PLD l Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe à phương pháp có nhiêu ưu điếm trong việc chế tạo màng móng của các ôxit đa ihành phân bời nguyên lý làm việc đơn giàn, hợp phần của vật liệu bia đượcLuận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
dàm bão trong quá trình bốc bay.ở trong nước hiện có rất ít báo cáo nghiên cún đầy đủ chi tiết vè quy trình chê lạo và lính chất của màng mỏng vậi li1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HÀI HẬUCHẾ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYẾN PHA CẪU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO3 PHA TẠP F Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe j nhưng còn nhiêu diều chưa thống nhát. Với những lí do trên đây, tôi đà lựa chọn vân đê "Chê tạo và nghiên cứu sự chuyên pha cấu trúc, tính chất quang cùa màng mòng BaTiOĩ pha tạp Fe” làm đẽ tài cho luận văn.Mục tiêu cúa luận văn là:-Che lạo thành công màng mỏng vậl liệu BaTiO} pha tạp le bàng phươ Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe ng pháp bốc bay xung laser.-Tiễn hành nghiên cứu sự chuyên pha cấu trúc và bước đâu kháo sát tính chất quang cùa màng mỏng vật liệu BaTiOj phét tạp FeLuận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
.Phương pháp nghiên cứu:4+ Phương pháp phân (ích và tống hợp lý (huyết.+ Phương pháp thực nghiệm chê tạo mẫu, khảo sát cấu trúc, tính chất quang học c1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HÀI HẬUCHẾ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYẾN PHA CẪU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO3 PHA TẠP F Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe o sát sự chuyền pha cẩu trúc, tính chất quang cúa vật liệu chê tạo được.Bố cục của luận văn gôm:-Mờ đầu.-Chương 1: Tống quan-Chương 2: Các kỳ thuật thực nghiệm.-Chương 3: Kết quà và thào luận.-Kết luận.5Chương 1. TỐNG QUAN1.1. câu trúc của vật liệu BaTiChTrong cẩu trúc lập phương lý tưởng của BaTiOj Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe được mô tá trên hình 1.1, một ion Ba và 3 ion oxy cùng nhau tạo nên các mặt của mạng tinh thế, được gọi là lập phương tâm mặt fee (face centered cubiLuận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
c), các ion Ti được điên vào các khôi bát diện của oxy tạo nên các bát diện TĩOg. Khi ion Ti4 trong bát diện TĩOg năm ờ tâm cùa ô mạng, ta có cãu trúc1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HÀI HẬUCHẾ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYẾN PHA CẪU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO3 PHA TẠP F Luận văn thạc sĩ chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc, tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe rúc perovskite được biẽu diên trong Hình 1.1.1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HÀI HẬUCHẾ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYẾN PHA CẪU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO3 PHA TẠP FGọi ngay
Chat zalo
Facebook