Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây Lá còng trinh nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dần cùa GS.TS Vù Ngọc Hứng Các số liệu, kết quà nghiên cứu là tr Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ rung thực và chưa từng được tác già khác còng bố.Người hướng dần khoa họcTác giàGS. TS Vũ Ngọc HùngNguyền Ngọc MinhiLỜI CÁM ƠNTnrớc hết tôi xin bày to lòng kinh trọng và biết ơn sâu sắc dến GS.TS Vũ Ngọc Hùng người thầy dà tận tinh hướng dần, giúp dờ và tạo mọi diều kiện thuận lợi cho tôi trong quá Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ trinh thực hiện luận án. Những lúc gặp khó khăn trong công việc cùng như trong cuộc sông, thầy luôn ỡ ben quan tâm. động viên, khích lệ tôi kịp thời.Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
I.à nhà khoa học mầu mực, thầy đà truyền câm hứng, truyền lứa cho tôi giúp lôi vượt qua mọi thứ thách, khó khàn đê học tập. đè nghiên cửu khoa học và LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây Lá còng trinh nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dần cùa GS.TS Vù Ngọc Hứng Các số liệu, kết quà nghiên cứu là tr Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ ất vâ tinh thần giúp tòi hoãn thành luận án.Tòi xin chân thành câm ơn PGS.TS Nguyền Phúc Dương. PGS.TS Nguyễn Vãn Quy. PGS.TS Mai Anh Tuấn. PGS.TS Nguyền Anh Tuấn. PGS.TS Nguyền Vàn Duy, PGS TS Trịnh Quang Thông, TS Nguyền Văn Toán và cán bộ Viện ITIMS đà dạy bão và động viên giúp tôi hoàn thành luậ Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ n ánTÔI xin chân thành cam ơn PGS.TS Chu Mạnh Hoàng, TS Vù Thu Hiền, TS. Ngô Đức Quân, TS Nguyền Quang Long. ThS Hà Sinh Nhật. ThS Lê Vãn Tâm cúng cácLuận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
anh chị và các bạn trong phòng thí nghiệm MEMS, Viện ITIMS. trường ĐII Bách Khoa Hà NỘI đà hướng dần. động viên chia sê kinh nghiệm nghiên cứu khoa hLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây Lá còng trinh nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dần cùa GS.TS Vù Ngọc Hứng Các số liệu, kết quà nghiên cứu là tr Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ luôn ừ bên. động viên khích lệ tôi trong thời gian qua. Tôi xin cám ưn các anh chị đông nghiệp ứ bộ mồn Diêu khiên & Tự động hóa. Trường Dại học Sư phạm Kỳ thuật Hưng Yên dà quan tâm, hồ trợ tôi trong công việc dể tòi có diều kiện hoàn thành luận án.Cuối cũng tòi xin bày to lõng biết ơn vô hạn tới Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ nhìrng người thân yêu trong gia dinh tôi. Sự dộng viên vã hy sinh thầm lặng cua bố mẹ. vợ cơn. các anh chị và các cháu lã rình cam vờ giá. lã dộng lựcLuận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
tinh thần lớn lao khích lệ tôi vượt qua mọi khó khán trỡ ngại trong học lập và cuộc sống đế đạt kết quá cuối cùng.Hà Nội, ngày tháng năm 2020Tác giáNLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây Lá còng trinh nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dần cùa GS.TS Vù Ngọc Hứng Các số liệu, kết quà nghiên cứu là tr Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ ..............iiMỤC LỤC.............................................................iiiDANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẨT.................................viDANH MỤC BÀNG.......................................................viiDANH MỤC CÁC HÌNH VÊ, ĐÓ THỊ.......................................viii Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ MỞ ĐÀU................................................................11Tính cấp thiết cùa luận án.........................................12Mục tiêuLuận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
của luận án...............................................23Phương pháp nghiên cứu.............................................24Ý’ nghĩa khoa học và LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây Lá còng trinh nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dần cùa GS.TS Vù Ngọc Hứng Các số liệu, kết quà nghiên cứu là tr Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ ..................................4CHƯƠNG 1: TỎNG QUAN...................................................51.1.Công nghệ vi cơ điện từ MEMS.....................................51.1.1.Giới thiệu chung............................................51.1.2.Lịch sử phát triển................................. Luận án tiến sĩ nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ .........6LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây Lá còng trinh nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dần cùa GS.TS Vù Ngọc Hứng Các số liệu, kết quà nghiên cứu là trLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây Lá còng trinh nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dần cùa GS.TS Vù Ngọc Hứng Các số liệu, kết quà nghiên cứu là trGọi ngay
Chat zalo
Facebook