Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon
Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon
DẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI DẠI HỌC QUỔC GIA TI’ HỎ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHẸPTN CÔNG NGHẸ NANONGUYÊN VÃN QUỐCNGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO VÀ ÚNG DỤNG CẢM Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon BIẾN SINH HỌC DựA TRÊN CẤU TRÚC NANO SILICONLUẬN VĂN THẠC sĩThành phố Hồ Chí Minh - 2010MỤC LỤCTRANG PHỤ BÌA......................................................iLÒI CẢM ƠN........................................................iiLÒI CAM ĐOAN.....................................................iii Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon MỤC LỤC...........................................................ivDANH MỤC CÁC CHỪ VIÉT TÁT.........................................viDANH MỤC CÁC HNghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon
ÌNH VÈ.............................................viiMỞ ĐÀU..........................................................viiiCHƯƠNG I TỎNG QUAN..........DẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI DẠI HỌC QUỔC GIA TI’ HỎ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHẸPTN CÔNG NGHẸ NANONGUYÊN VÃN QUỐCNGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO VÀ ÚNG DỤNG CẢM Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon no (nanowire basedbiosensors)...................................................3CHƯƠNG II: QUI TRÌNH DEA VÀ CÁC KÌ THUẬT DÙNG ĐẺ CHÉ TẠOSỢI NANO SILICON...................................................7I.Qui trình Deposition and Etching under Angle (DEA) để chế tạo sợinano silicon ............... Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon ..................................7II.Các kì thuật cơ bàn sử dụng trong qui trình DEA..........12II. 1 Công nghệ quang khắc ..........................Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon
....1211.2Công nghệ ăn mòn thẳng đứng.........................1711.3Kỳ thuật lạo màng mông kim loại dị hướng............18111.4 Kỳ thuật ăn mòn dị hướDẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI DẠI HỌC QUỔC GIA TI’ HỎ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHẸPTN CÔNG NGHẸ NANONGUYÊN VÃN QUỐCNGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO VÀ ÚNG DỤNG CẢM Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon 4I.Chế tạo sợi bang Qui (rình DE A...........................24II.Kết quà chế tạo..........................................27II. 1 Kích thước và tính chất bề mặt......................27II.2 Tính chất điện........................................28CHƯƠNG IV KHÁO SÁT KHẢ NÂNG PHÁT HIỆN DNA CÙA CÁM BIẾN Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon ....30I. Biến đổi bề mặt sợi Si-NWs................................301.1 Tạo sự đồng nhất trên bề mặt sợi có lớp SiO2...........301.2Tạo sự đồng nhấtNghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon
trên bề mặt sợi Si không có SiO2......3511 Định lượng DNA băng cảm biến sinh học Si- NWs..........40DẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI DẠI HỌC QUỔC GIA TI’ HỎ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHẸPTN CÔNG NGHẸ NANONGUYÊN VÃN QUỐCNGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO VÀ ÚNG DỤNG CẢM DẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI DẠI HỌC QUỔC GIA TI’ HỎ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHẸPTN CÔNG NGHẸ NANONGUYÊN VÃN QUỐCNGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO VÀ ÚNG DỤNG CẢMGọi ngay
Chat zalo
Facebook