Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯƠNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HẢI HẬUCHÉ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYỂN PHA CÁU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO.5 PHA TẠP Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe FeLUẬN VÃN THẠC sĩ QUANG HỌCTHÁI NGUYÊN, 5/20182MỠ ĐÀUNhững năm gần đày. vật liệu có kích thước nanô mét đà được quan tâm nghiên cứu mạnh mè bời khả năng ứng dụng của chúng. Các kết quà nghiên cứu về vật liệu nanô đà mờ ra những triển vọng ứng dụng to lớn dựa trên các tính chất quang - điện - từ. đ Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe ể tạo ra các thiết bị. các linh kiện nhằm phục vụ, nàng cao đời sống con người. Hiện nay, các màng móng điện môi - sắt điện cấu trúc perovskite như BaChế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
TiOa (BTO) SrTiOj, PbTiOẻt, PbZrO, PbZrl.xTixO?, CaCu2Ti.?Oi2-. dà được tích hợp vào nhiều bộ phận của con chip đặc biệt là các tụ điện kích thước nan1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯƠNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HẢI HẬUCHÉ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYỂN PHA CÁU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO.5 PHA TẠP Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe ) được ứng dụng rộng rài nhất. Hàng năm có hàng tỷ tụ điện ứng dụng màng mong BTO (hoặc hạt nano BTO) được sứ dụng trong các thiết bị điện tư hiện đại nhờ có độ bển hóa học và hàng số điện mòi cao ơ nhiệt độ phòng. Đặc biệt là giá thành rất rẽ. giá thành chi bàng 1/100 các tụ điện truyền thống với đ Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe iện cực Ag/Pd đắt tiền. Đặc biệt, gần đây nhiều nhóm nghiên cứu [1.6-10] đà thu được đặc tính multiferroics cúa vật liệu BTO pha tạp các nguôn tố 3d (Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
như Fe. Mn) ở nhiệt độ phòng thi tiềm năng ứng dụng cùa màng mông BTO (và BTO pha tạp các nguôn tố 3d) hiện nay còn lớn hơn nhiều. Đó là ứng dụng tron1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯƠNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HẢI HẬUCHÉ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYỂN PHA CÁU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO.5 PHA TẠP Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe không tự xóa sắt điện (FeRAMs). bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên động (DRAM), linh kiện nhớ điện trờ (RRAM). nhớ điện dung (Capacitance Memory Effect)... [1,4].Song song với việc nghiên cứu các vật liệu dạng khối, các vật liệu BTO pha tạp Fe dạng màng mông với các tinh chất nối trội cùa chúng cũng dã thu Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe hút3được sự quan tâm nghiên cứu đặc biệt. Bên cạnh việc khám phá ra hiệu ứng từ diện lớn tại nhiệt độ phòng, màng mong BTO pha tạp Fe cũng dược quanChế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
tâm nghiên cứu bơi lý do khác dó là kha nàng che tạo dược nhừng mãng mong có chat lượng cao cùng như tạo được nliừng đon linh thê đa thành phần. Các m1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯƠNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HẢI HẬUCHÉ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYỂN PHA CÁU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO.5 PHA TẠP Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe taxy chùm phân tư (Molecular Beam ppìtaxy - MBK) vã phương pháp lắng dọng hoá học từ pha hơi kim loại - hừu cư (Metal- Organic Chemical Vapour Deposition -MOCVD). Tuy nhiên, phương pháp phổ biến nhắt và cỏ nhiều ưu diêm nhất là phương pháp bốc bay bằng xung lade (Pulse Laser Deposition - PLD). PI.I) Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe là phương pháp có nhiều ưu diêm trong việc chế tạo màng móng cúa các ôxit đa thành phần bới nguyên lý làm việc đơn gián, hợp phần cúa vật liệu bia đưChế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
ợc đám bào trong quá trình bốc bay.Ớ trong nước hiện có rất ít báo cáo nghiên cứu đầy đù chi tiết về quỵ trinh chế tạo và tinh chất của màng móng vật 1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯƠNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HẢI HẬUCHÉ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYỂN PHA CÁU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO.5 PHA TẠP Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe ,6] nhưng còn nhiều điều chưa thong nhất. Với nhùng li do trên dây, tôi dà lựa chọn vắn dề "Chề tạo và nghiên cứu sự chuyên pha cẩu trúc, tỉnh chat quang cùa màng mòng BaTiOỉ pha tạp Fe” làm đề tài cho luận vàn.Mục liêu cùa luận van là:-Chế tạo thành công mảng mong vật liệu Balio.í pha tạp Fc bằng p Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe hương pháp bốc bay xung laser.- Tiến hành nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc và bước dầu kháo sát tính chất quang cúa màng mông vật liệu BaTiCh pha tạpChế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
Fe.Phương pháp nghiên cứu:4+ Phương pháp phàn tích và tống hợp lý thuyết.+ Phương pháp thực nghiệm chế tạo mầu, kháo sát cấu trúc, tính chất quang họ1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯƠNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HẢI HẬUCHÉ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYỂN PHA CÁU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO.5 PHA TẠP Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe kháo sát sự chuyền pha cấu trúc, tính chất quang cùa vật liệu chế tạo được.Bố cục cùa luận vãn gổni:-Mở đầu.-Chương 1: Tông quan-Chương 2: Các kỳ' thuật thực nghiệm.-Chương 3: Kết quã và thào luận.-Kết luận.5Chương 1. TỐNG QUAN1.1. Cấu trúc của vật liệu BaTỈOỉTrong cấu trúc lập phương lý tưởng của Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe BaTiOj được mô tã trên hình 1.1, một ion Ba và 3 ion oxy cùng nhau tạo nên các mặt cúa mạng tinh thề. được gọi là lập phương tâm mật fee (face centereChế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe
d cubic), các ion Ti được điền vào các khối bát diện của oxy tạo nên các bát diện TiƠ6. Khi ion Ti4’ trong bát diện TiOộ năm ớ tâm của ô mạng, ta có c1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯƠNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HẢI HẬUCHÉ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYỂN PHA CÁU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO.5 PHA TẠP Chế tạo và nghiên cứu sự chuyển pha cấu trúc tính chất quang của màng mỏng batio3 pha tạp fe oại cấu trúc perovskite được biêu diễn trong Hình 1.1.1ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊNTRƯƠNG ĐẠI HỌC KHOA HỌCLẠI THỊ HẢI HẬUCHÉ TẠO VÀ NGHIÊN cứu sự CHUYỂN PHA CÁU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG BaTiO.5 PHA TẠPGọi ngay
Chat zalo
Facebook