Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2
Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2
BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO TRƯỜNG DẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ************************LUẬN VĂN THẠC sỉ KHOA HỌCCHÉ TẠO CẢM BIÉN KHÍ LOẠI MỌT MẶT BẢNG CÔNG NG Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2 GHỆ VI ĐIỆN TỬ TRÊN CO SỞ VẬT LIỆU NANO S11O2NGÀNH : KHOA HỌC VẬT LIỆUTRÀN QUANG ĐẠTKHỎA : ITIMS 2007 - 2009Người hướng dần khoa học: GS.TS NGUYỀN ĐỨC CHIẾNHÀ NỘI 2009LỜI CẢM ƠNTrước hết tỏi xin chân thành cam ơn sâu sác đến GS.TS Nguyễn Đức Chiến . TS Nguyễn Vãn Hiếu. KS Nguyễn Vãn Toán, những ngườ Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2 i đã hướng dẫn tận tình và giúp đờ tòi đế hoàn thành bán luận vãn này.Tỏi xin chân thành cám ơn tới các thầy có trong Viện Đào tạo Quốc tê' về Khoa họChế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2
c vật liệu (ITIMS) đả truyển cho tỏi vỏn kiến thức quý báu và tạo mọi điều kiện học tập cho tôi trong suốt thời gian học tập tại viện.Tỏi cũng xin châBỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO TRƯỜNG DẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ************************LUẬN VĂN THẠC sỉ KHOA HỌCCHÉ TẠO CẢM BIÉN KHÍ LOẠI MỌT MẶT BẢNG CÔNG NG Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2 MS) đã hướng dân. tạo điều kiện thuận lợi cho tói hoàn thành phan thực nghiêm cùa luận van này.Và cuối cùng tói xin cám ơn gia đinh, bạn bè. những người thân đã quan tâm, động viên, giúp đờ tôi trong suốt quá trình học tập .Hà Nội, tháng 09 nam 2009K>ọe 1'iht/rẫtt (JjtatKf 'f)ạtMỤC LỤCTóm tắtMục lục Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2 Mờ đầu1Chương I. TÒNG QUAN31.1. Kliái quát chung về câm biến khí và các thông số đặc trưng31.1.1. Giới thiệu, phân loại và ímg dụng cảm biến khí31.1.2Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2
.Các loại câm biến khi thông dụng71.1.2.1.Câm biến khí thay đổi độ dần71.1.2.2.Câm biến điện hóa81.1.2.3.Câm biến điện cực lựa chọn ion91.1.2.3.Càm biBỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO TRƯỜNG DẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ************************LUẬN VĂN THẠC sỉ KHOA HỌCCHÉ TẠO CẢM BIÉN KHÍ LOẠI MỌT MẶT BẢNG CÔNG NG Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2 4.Tính ồn định121.1.3.5.Nhiệt độ làm việc tối ưu cùa câm biến121.2.Cấu trúc, phương pháp chế tạo,và đặc tính nhạy khí của vật liệu SnO2 131.2.1.Vật liệu SnO213 Chế tạo cảm biến khí loại một mặt bằng công nghệ vi điện tử trên cơ sở vật liệu Nano SnO2 BỌ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO TRƯỜNG DẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ************************LUẬN VĂN THẠC sỉ KHOA HỌCCHÉ TẠO CẢM BIÉN KHÍ LOẠI MỌT MẶT BẢNG CÔNG NGGọi ngay
Chat zalo
Facebook