Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel
Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel
MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel ROELECTRIC PROPERTY OF PZT THIN FILMS FABRICATED BY SOL-GEL METHODMASTER THESIS OF MATERIALS SCIENCE BATCH ITIMS - 2006Supervisor: Associate Prof. Dr. vu NGOC HUNGHanoi - 2008BỌ GIÁO DỤC yÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI VIÊN ĐÀO TẠO QUỐC TẾ VẾ KHOA HỌC VẶT LIÊULÊ VĂN MINHNGHIÊN CỬU NÂNG CAO Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel TÍNH CHÁT SẤT ĐIẸN CỦA MÀNG MONG PZT CHẺ TẠO BANG CÔNG NGHỆ SOL-GELLUẬN VĂN THẠC sĩ KHOA HỌC VẬT LIỆU KHOẤ ITI.MS - 2006Người hướng dẫn khoa học: PGSNghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel
. TS. vũ NGỌC HÙNGHà Nội - 2008ACKNOWLEDGMENTSMy most sincere gratitude belongs to Associate Professor Vu Ngoc Hung for his continuous support and advMINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel l Training Institute for Materials Science (ITIMS), a true pleasure.rd also like to acknowledge IMS, Twente University, MESA*, the Netherlands, for analyzing and measuring experiment samples including XRD. AFM. FE-SEM. and TF2000 piezoelectric mode. Special thanks go to PhD. Nguyen Due Minh, IMS, Tw Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel ente, University, MESA*, the Netherlands for directly implementing these analyses and measurements.I would also like to express my appreciation to theNghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel
rest of the MEMS Group including. Dr. Trinh Quang Thong, Nguyen Van Minh for their daily help and sincere friendship, special thanks go to Ms. Bui ThMINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel ls in 2007 and helped establish the scientific kernel and intrigue for completing this current work.I would also like to thank ITIMS for making a scientific environment and facilities. Special thanks go to Dr. Nguyen Anh Tuan and Ms. Le Thanh Hung for sputtering supports and Dr. Pham Thanh Huy who g Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel ave me authority to use his group’s furnace system.Finally, I would like to thank my family, especially Mom. Dad, my old brothers, Le Van Son and Le VNghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel
an Quang, for their continual love and support as well as their forbearance of my scientific babble. Without this link to family, I would become totalMINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel êu dể luận vãn:“Nghiên cứu nâng cao tính chất sất diện cùa màng mòng PZT chế tạo bằng công nghệ sol-gel"Tác giả:Lê Vãn MinhNgơời hưóĩig dần:PGS.TS. Vũ Ngọc HùngNgười nhạn xét: 1.2Tóm tắt:Màng móng PZT [(PbZixTii-xjOsJ, với các lính chất sắt điện, áp điện, hoà điện nồi bật là một trong nhùng vật liệu Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel được nghiên cứu và ứng dụng trong lình vực còng nghệ MEMS, bộ nhớ FeRAM, vv... Tại phòng thi nghiệm MEMS của Viện ITIMS, màng mông PZT cùng đà được tNghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel
riền khai nghiên cứu trong thời gian vài năm trớ lại đày. Bước đầu đà xây dựng được quy trình tổng hợp sol-gel và chế tạo mảng móng PZT. xong còn một MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel n văn nãy là tiến hành những nghiên cửu tiếp theo để tạo ra màng mông PZT có tính chất nàng cao nhẳm định hưởng trong các ứng dụng cúa nhóm MEMS. Trong luận văn này chúng lôi tập trung nghiên cứu nhăm nàng cao tinh chắt sắt điện, tránh việc nứt màng và giâm thiêu rosettes của màng mông P7.T. Bằng vi Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel ệc tối ưu hóa quy trinh sử lý nhiệt, nghiên cứu ảnh hường của vật liệu diện cực dế, vã dặc biệt lã nghiên cứu mãng móng PZT dị lớp. tinh chất của màngNghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel
dà dược nâng cao rõ rệt. Mãng móng P7T(53/47) trên dế Pt( 111)/Ti/Sio2/Si có định hướng ưu tiên (100) dà dược chế tạo thảnh công cỏ các thông số p. vMINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel và 65kv/cm. Màng PZ1(47 53)/PZ1(53 47) cấu trúc dị lóp trên để SRO/YSZ/Si đà đạt được giá trị Pr và Ec lương úng là 28uC/cm- và 60kV/cm.Từ khoá: Màng mong PZT; Sol-gel; Màng mong sal điện; PZT cấu trúc dị lóp; Diện cực de SRO; Diện cực dế Platinum.INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIE Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng PZT chế tạo bằng công nghệ Sol Gel NCEBATCH -2006Title of Msc. Thesis:MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERRMINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERRGọi ngay
Chat zalo
Facebook