Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung
Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung
BỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOẤ HÀ NỌINGUYỀN NGỌC MINHNGHIÊN cứu THIÉT KÉ XÂY DựNG HỆ ĐO CẢM BI ÉN GI A TÓC MEMS ÚN G DỤNG ĐO í)ộ RƯNG Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung GLUẬN VĂN THẠC sĩ KHOA HỌCCHVYẺN NGÀNH: KHOA HỌC VÀ KỲ THI ẠT VẠT LIỆU ĐIỆN TVHà Nội - 2009https://khothu vien .comBộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOẤ HÀ NỘINGUYẺN NGỌC MINHNGHIÊN cứu THIÉT KÉ XÂY DựNG HỆ ĐO CẢM BIÉN GIA TÓC MEMS ỨNG DỤNG ĐO 1)0 RUNGLUẬN VĂN THẠC sĩ KHOA HỌCCHUYÊN NGÀNH: Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung KHOA HỌC VÀ KỸ THUẬT VẶT LIỆU ĐIỆN TỨNGƯÒI HƯỚNG DÃN KHOA HỌC :PGS.TS Vĩ NGỌC HÙNGHà Nội-2009MỤC LỤCLÒI NÓT ĐÂU......................................Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung
..........................ILỜI CAM ƠN.................................................................2MỚ DÂU.........................................BỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOẤ HÀ NỌINGUYỀN NGỌC MINHNGHIÊN cứu THIÉT KÉ XÂY DựNG HỆ ĐO CẢM BI ÉN GI A TÓC MEMS ÚN G DỤNG ĐO í)ộ RƯNG Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung ..............................3Phương pháp Iiglũên cứu....................................................3CHƯƠNG ĩ : TÔNG QUAN CÔNG NGHF. MF.MS VÀ CẤM BIÉN ÁP ĐĨẸNTRỎ........................................................................4I.I Giới Thiệu còng nghệ MF.MS.............................. Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung ..............4I. i. I Vật liệu dùng trong còng nghệ MEMS.................................71.1.2Rung động trong dời sống con người....................Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung
..............131.2Câm biến gia tốc....................................................141.2.1Giới thiệu chung về câm biến gia tốc....................BỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOẤ HÀ NỌINGUYỀN NGỌC MINHNGHIÊN cứu THIÉT KÉ XÂY DựNG HỆ ĐO CẢM BI ÉN GI A TÓC MEMS ÚN G DỤNG ĐO í)ộ RƯNG Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung ............151.2.4Theo nguyên lý hoạt động:...........................................151.2.5Câm biền gia tổc áp diện trở........................................181.2.5.1 cấu tạo và nguyên lý hoạt dộng....................................181.2.5.2 Một số dặc trưng cùa câm biên gia tốc kích thước 1x1 Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung mm...........21CHƯƠNG 11: T111ÊT KẼ VẢ 1111 CÓNG MẠCH....................................232.1Sư đỏ khôi cùa hệ đo till hiệu rung....................Nghiên cứu thiết kế xây dựng hệ đo cảm biến gia tốc MEMS ứng dụng đo độ rung
...............23BỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOẤ HÀ NỌINGUYỀN NGỌC MINHNGHIÊN cứu THIÉT KÉ XÂY DựNG HỆ ĐO CẢM BI ÉN GI A TÓC MEMS ÚN G DỤNG ĐO í)ộ RƯNGBỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOẤ HÀ NỌINGUYỀN NGỌC MINHNGHIÊN cứu THIÉT KÉ XÂY DựNG HỆ ĐO CẢM BI ÉN GI A TÓC MEMS ÚN G DỤNG ĐO í)ộ RƯNGGọi ngay
Chat zalo
Facebook