KHO THƯ VIỆN 🔎

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

➤  Gửi thông báo lỗi    ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu:     PDF
Số trang:         72 Trang
Tài liệu:           ✅  ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT
 













Nội dung chi tiết: Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

NGUYỄN NAM TRUNGco ồỏ CÔNG NGHỆVI ĐIÊN TỦ*VI he thongOAI II

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thốngYỀN NAM TRƯNGcơ sỏ CÓNG NGHỆ VI ĐIỆN TỬ & VI HỆ THỐNGNHẢ XUẤT BÀN KHOA HỌC VÀ KỸ THUẬTHÀ NÔI 19996T73899 - 38 - 99KI1KT - 99Lời giới thiệuCuốn sách ”C

ư sở rông nghệ vi diện tử rà vi hệ thống” của tiến sĩ Nguyên Nam Trung giới thiệu vơi bạn dục một cồng nghệ mới của nền khoa học cởng nghệ thế giới: c Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

ông nghệ vi hẹ thống. Công nghộ vi hệ thống bát nguồn từ công nghệ vi diện tử và hiện nay dã phát triển thành một cồng nghộ da ngành. Cồng nghệ vi hệ

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

thống dược coi là một trong những công nghệ chìa khóa của thế kỳ hai mươi mót.Để thiết kí5 ríu* hệ thống ngÀy càng nhỏ vá gọn nhẹ, ngoài các vi mạch d

NGUYỄN NAM TRUNGco ồỏ CÔNG NGHỆVI ĐIÊN TỦ*VI he thongOAI II

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thốngng dùi hời những công nghệ chế tạo mới m*l còn càn dến những kỷ thuật mới trong thiết kế và thử nghiệm. Công nghẹ này cũng càn một lượng thông tin lởn

từ nghiên cứu cơ bản của câc hiện tượng vật lý trong không gian siêu nhỏ.Công nghệ vi hộ thống da dược đưa vào chương trinh giảng dạy kỹ sư diện và k Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

ỹ sư chế ựtó mẤy cùa hh.il hét cái: trường dại học nói tiếng tại châu Ấu cùng như tại lĩoa Kỳ. Cuón tóch nồy chọn lợc mõt số kiến thức cơ bản cùa công

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

nghe vi hệ thống do tốc giá biên soạn và sắp xép lại trong thời gian làm việc tại Đại học Tổng hựp Kỹ thuật Chemnitz (CHLB Dưc) và tụi Đại hục Tổng h

NGUYỄN NAM TRUNGco ồỏ CÔNG NGHỆVI ĐIÊN TỦ*VI he thongOAI II

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thốngử và kỹ thuật đo.Cuỏn sách xuát bàn làn dàu nên chác chán không tránh khỏi nhừng thiếu sót. Rát mong dược bạn dọc gớp ý. Thư góp ý xin gửi vè Nhà xuát

bàn Khoa học và Kỹ thuật - 70 Tràn Hưng Dạo - Hâ Nội.1Thuật ngữ viết tắtACVD BESOI BSM-SOI BOX CAIBE CDEAtmospheric Chemical Vapour Deposition Bonded Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

Etched-Back Silicon On Isolator Diack Silicon Method-Si licon on Isulator Buried Oxide Chemically Assisted Ion Beam Etching Chemical Dry EtchingCMOS

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

CMP CVD dRAM ECR HTO ISFET ITO I.IGA LCD LOCOS LPCVD LTO LTV MERIE MIM MOCVD MOS PECVD PMMA PSGComplementary Metal Oxide Semiconductor Chemical Mechan

NGUYỄN NAM TRUNGco ồỏ CÔNG NGHỆVI ĐIÊN TỦ*VI he thongOAI II

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thốngect Transistor Indium Tin Oxide Lithographic Galvanoformiing Abformung(tiếng Đừc) Liquid Crystal Display Local Oxidation of Silicon Low Pressure Chemi

cal Vapour Deposition Low Temperature Oxide Local Thickness Variation Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Metal hulator Metal Metal Organic Che Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

mical Vapour Deposition Metal Oxide Semiconductor Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition Polymethylmethacrylat Phosphorous Silicate GlassPVD R1E R

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

I BE RF RTP SACVDPhysical Vapour Deposition Reactive Ion Etching Reactive Ion Beam Etching Radio Frequency Rapid Thermal Processing Sub-Atmospheric Ch

NGUYỄN NAM TRUNGco ồỏ CÔNG NGHỆVI ĐIÊN TỦ*VI he thongOAI II

Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thốngn of Oxigen Silicon Micromachining by Plasma Etching Silicon on Isdator Silicon Oxide Silicon Static Random Access Memory Transmission Coupled Plasma

Tetra-EthybOrthoSilicate Thill Film Transistor Triode Reactive Ion Etching Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống

NGUYỄN NAM TRUNGco ồỏ CÔNG NGHỆVI ĐIÊN TỦ*VI he thongOAI II

Gọi ngay
Chat zalo
Facebook