Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
LỜI CAM ĐOANTòi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dẫn cùa GS.TS Vù Ngoe Hùng. Các số liệu, kết qua nghiên cửu là t Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụtrung thực và chưa từng được tác già khác công bố.Người hướng dẫn khoa họcTác giãGS. TS Vũ Ngọc HùngNguyền Ngọc MinhLỜI CÁM ƠNTrước hết tôi xin bày to lòng kinh trọng và biết ơn sâu sắc dền GS.TS Vù Ngọc Hùng người thầy dà tận tinh hướng dần. giúp dờ vã tạo mọi diều kiện thuận lợi cho tôi trong quá Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụtrinh thực hiện luận án. Nhưng lúc gặp khó khăn trong công việc cùng như trong cuộc sông, thây luôn ớ bên quan lâm, động viên, khích lệ lôi kịp thời.Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
I.à nhã khoa học mầu mực, thầy đà truyền cám hứng, truyền lứa cho lôi giúp lồi vượt qua mọi thứ thách, khó khàn đê học tập. đè nghiền cứu khoa học và LỜI CAM ĐOANTòi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dẫn cùa GS.TS Vù Ngoe Hùng. Các số liệu, kết qua nghiên cửu là t Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụhất vâ tinh thần giúp tòi hoãn thành luận án.Tòi xin chân thành cám ơn PGS.TS Nguyễn Phúc Dương. PGS.TS Nguyền Vãn Quy, PGS.TS Mai Anh Tuấn. PGS.TS Nguyền Anh Tuấn. PGS.TS Nguyền Vãn Duy, PGS.TS Trịnh Quang Thông, TS Nguyền Văn Toán và cán bộ Viện ITIMS đã dạy bão và động viên giúp tôi hoàn thành lu Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụận ánTôi xin chân thành cam ơn PGS.TS Chu Mạnh Hoàng, TS Vù Thu Hiền. TS. Ngô Đức Quân, TS Nguyền Quang Long. ThS Hà Sinh Nhật. ThS Lê Vãn Tám cùng cáNghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
c anh chị và các bạn trong phòng thí nghiệm MEMS. Viện ITIMS. trường ĐH Bách Khoa Hà NỘI đà hướng dần. động Viên chia se kinh nghiệm nghiên cứu khoa hLỜI CAM ĐOANTòi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dẫn cùa GS.TS Vù Ngoe Hùng. Các số liệu, kết qua nghiên cửu là t Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ luôn ở bên. động viên khích lệ lôi trong thôi gian qua. Tôi xin cám ơn các anh chị đông nghiệp ỡ bộ môn Diêu khiên & Tự động hóa, Trường Dại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên dà quan tâm, hồ trợ tôi trong còng việc dề tòi có diều kiện hoàn thành luận án.Cuối cũng tòi xin bày to lòng biết ơn vô hạn tới Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụnhíhig người thân yêu trong gia dinh tôi. Sự dộng viên vã hy sinh thầm lặng cua bố mẹ. vợ con. các anh chị và các cháu lã tình cam vò giá, là dộng lựcNghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
tinh thần lớn lao khích lệ tôi vượt qua mọi khó khăn trớ ngại trong học lập và cuộc sòng đê đạt kcl quá cuối cùng.Hà Nội, ngày tháng nám 2020 rác giáLỜI CAM ĐOANTòi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dẫn cùa GS.TS Vù Ngoe Hùng. Các số liệu, kết qua nghiên cửu là t Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ.................iiMỤC LỤC..............................................................iiiDANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẢT..................................viDANH MỤC BÀNG........................................................viiDANH MỤC CÁC HÌNH VÊ, ĐÓ THỊ..................................... Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ...viiiMỞ ĐÀU.................................................................11Tính cấp thiết cùa luận án..........................................12Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
Mục tiêu cùa luận án................................................23Phương pháp nghiên cứu..............................................24Ý nghĩa khLỜI CAM ĐOANTòi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dẫn cùa GS.TS Vù Ngoe Hùng. Các số liệu, kết qua nghiên cửu là t Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ................................................4CHƯƠNG 1: TÔNG QUAN....................................................51.1.Công nghệ vi cơ điện từ MEMS......................................51.1.1.Giới thiệu chung............................................51.1.2.Lịch sir phát triển................ Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ.........................61.1.3.Phân loại công nghệ MEMS....................................81.2.Cảm biến vận tốc góc.................................Nghiên cứu thiết kế chế tạo vi cảm biến vận tốc góc âm thoa và cảm biến gia tốc kiểu tụ
.............91.2.1Câm biến vận tốcgóc cổ điền.................................9LỜI CAM ĐOANTòi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dẫn cùa GS.TS Vù Ngoe Hùng. Các số liệu, kết qua nghiên cửu là tLỜI CAM ĐOANTòi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sư hướng dẫn cùa GS.TS Vù Ngoe Hùng. Các số liệu, kết qua nghiên cửu là tGọi ngay
Chat zalo
Facebook