Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic
Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic
ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG DẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNvũ BÁ DŨNGNGHIÊN cứu KHI F.C H TẤN ĐÔNG THỜI TẠP CHÃI VÀ SAI HÒNG D1ÉM TRONG S1L1CLUẬN ẢN TIÊN Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic N SỲ VẢI LÝHÀ NỌT-2011ĐẠT HỌC QVỚC GĨA HÀ NỘITRƯỜNG DẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNvữ BẢ DÙNGNGHIÊN cứu KHUẾCH TẢN ĐÒNG THỜI TẠP CHÃ I VÀ SAI HÒNG D1ÉM TRONG SILK.Chuyên ngành: Vật Iv chat ranMã sỗ: 62 44 07 01I.uẶN ẤN TIÊN SỸ VẠT ĩ.ÝNgười hiíõiig dãn khoa học:1PGS. TS. Nguyền Ngọc Long2GS. TSKH. Đào Khắc Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic AnHA NỘI-20112MỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN ........................................................... ILỜI CAM ƠN ...........................................Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic
.................. 2MỤC LỤC................................................................. 3DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIÉT TẤT ...................ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG DẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNvũ BÁ DŨNGNGHIÊN cứu KHI F.C H TẤN ĐÔNG THỜI TẠP CHÃI VÀ SAI HÒNG D1ÉM TRONG S1L1CLUẬN ẢN TIÊN Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic ...............6MÔ ĐÂU...................................................................8Chương I. MỌT SÓ VÁN ĐẼ TÒNG QUAN........................................111.1.Vật liệu bán dần silic...........................................111.1.1.Một vài tính chất cơ ban cùa vậtt liệu bán dần silic...... Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic ..121.1.2.Sai hóng diêm trong vật liệu bán dan si.....................131.1.3.Tự khuếch tân trong vật liệu bán dần Si.....................141.2.KhuếchLuận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic
tán lạp chất trong vật liệu bán dẫn Si.....................151.2.1.Cơ chế khuếch tán tạp chất trong Si.........................201.2.2.Khuếch tán B tĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG DẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNvũ BÁ DŨNGNGHIÊN cứu KHI F.C H TẤN ĐÔNG THỜI TẠP CHÃI VÀ SAI HÒNG D1ÉM TRONG S1L1CLUẬN ẢN TIÊN Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic o nông độ và căng mạng..............231.3.1.Mô hình khuếch tán cua s. Hu................................23ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG DẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNvũ BÁ DŨNGNGHIÊN cứu KHI F.C H TẤN ĐÔNG THỜI TẠP CHÃI VÀ SAI HÒNG D1ÉM TRONG S1L1CLUẬN ẢN TIÊNGọi ngay
Chat zalo
Facebook