Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu: PDF

Số trang: 110 Trang

Tài liệu: ✅ ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT

TẢI VỀ

Nội dung chi tiết: Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

- 1..ĐẠI HỌC QƯÓC GIA HÀ NỘI ĐẠI HỌC QUÓC GIA TP. HÔ CHÍ MINH TRƯỜNG đại học còng nghẹPTN CÓNG NGHẸ NANO***** *****NGUYỄN llì l KHÁNH NHÂNNGHIÊN cú’u

Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) .MÔ PHÒNG VÀ KHẢO SÁ I CÀ.M BIEN ÁP SUẤT KIEL ẤP TRỜC HÉ TẠO TRỂN co SỜ C ÔNG NGHẸ M co DIẸN TỨ (MEMS)Chuyên ngành : Vật ĩ.iệu và T.inh Kiện Nanô(Chu

ycn ngành dào Tạo till dicm)I I ẬN VĂN THẠC SĨNgười hưứng dản khoa hục : PGS. TS. Vù Ngọc HùngThành phổ Hồ Chi Minh - Năm 2(108- 10-MỤC LỤCTrangTrang Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

phụ biaLời cam đoanI -ời câm ơn1 )anh mục các kí hiệu, các chừ viet tatDanh mục các hình vẽ, dồ thị1 )anh mục các bângMục lụcGiới thiệu...............

Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

................................................. 1('hương 1: TỎNG QUAN VÈ HỆ VI cơ DIẸN TỬ VÀ HIỆU ỪNGÁP Dli.-N I RỠ TRONG VẠ I LlẸU BẢN DÀN S1LIC1.1

- 1..ĐẠI HỌC QƯÓC GIA HÀ NỘI ĐẠI HỌC QUÓC GIA TP. HÔ CHÍ MINH TRƯỜNG đại học còng nghẹPTN CÓNG NGHẸ NANO***** *****NGUYỄN llì l KHÁNH NHÂNNGHIÊN cú’u

Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) .('ông nghệ MIÍMS................................................. 41.1.3.Vật liệu trong MIÍMS......................................... 12••s.-1.2.1 l

iệu ứng áp trớ trong vật liệu silic........................... 141.2.1.Mỏ tã toán học hiệu ứng áp trớ............................... 141.2.2.Ảnh hướng Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

cúa nhiệt dộ và mức dộ pha tạp den hệ so ápđiện trơ......................................................... 201.3.Phân loại MEMS cam biến áp suất...

Luận văn thạc sĩ VNU UET nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

.................................. 221.3.1.Màng silicon vi cư.............................................. 221.3.2.Cảm biến áp suất áp trư...........

- 1..ĐẠI HỌC QƯÓC GIA HÀ NỘI ĐẠI HỌC QUÓC GIA TP. HÔ CHÍ MINH TRƯỜNG đại học còng nghẹPTN CÓNG NGHẸ NANO***** *****NGUYỄN llì l KHÁNH NHÂNNGHIÊN cú’u