Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100
Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100
iLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi Các sõ liệu, kẽt quâ nêu trong luận án là hoàn toàn trung thực và chưa từng đ Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100 được ai công bố trong bất kì công trình khoa học nào khác, các dữ liệu tham kháo được trích dân đầy đũHưng Yên, ngáy tháng nỗinTác giã luận ániiLỜI CẢM ƠNTrước tiên, tôi bày tỏ sự kính trọng và xin gửi lời cảm ơn sâu sắc tới tập thế giáo viên hướng dần. PGS TS đà luônluôn nhiệt tình chi bảo và luôn Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100 động viên đê tôi hoàn thành bán luận ánTiếp theo, tôi gửi lời cảm ơn tới Phòng Đào tạo, Trường Đại học SPKTHY cùng các cán bộ công tác tại trường đã gXác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100
iúp đờ tôi trong quá trình học tập, nghiên cứu khoa học và có nhừng ý kiến đóng góp quý báu vẽ nội dung, bõ cục cùa luận ánTôi xin gửi lời càm ơn đến iLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi Các sõ liệu, kẽt quâ nêu trong luận án là hoàn toàn trung thực và chưa từng đ Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100 i yên tâm thực hiện nội dung luận ánCuõi cùng, tôi muốn gửi lời càm ơn tới gia đình tôi, đâ luôn động viên tôi đẽ tôi có động lực và quyẽt tâm thực hiện thành công luận ánHưng Yên, ngày tháng nõmTác giã luận ániiiMỤC LỤCTrangLỜI CAM ĐOANiLỜI CÀM ƠNiiMỤC LỤCiiiDANH MỤC CÁC KÝ HIỆU, CÁC CHỦ’ VIẼT TÁTv Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100 iDANH MỤC CÁC HÌNH VÊixMỞ ĐÀU11Tính câp thiẽt của đê tài luận án12Mục tiêu nghiên cứu33Đối tượng nghiên cứu34Nội dung nghiên cứu35Phương pháp nghiên cXác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch 100
ún46Ý nghĩa khoa học và thực tiền của luận án47Bõ cục của luận án5CHƯƠNG 1: TÔNG QUAN VỀ ỨNG DỤNG CÔNG NGHỆ PLASMA TRONG KỸ THUẬT VI ĐIỆN TỪ611 Giới tiLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi Các sõ liệu, kẽt quâ nêu trong luận án là hoàn toàn trung thực và chưa từng điLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi Các sõ liệu, kẽt quâ nêu trong luận án là hoàn toàn trung thực và chưa từng đGọi ngay
Chat zalo
Facebook