Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch.
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch.
Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch.
https://khothu vien .comBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC sư PHẠM KỸ THUẬT HƯNG YÊNPHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VA Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch. A CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỬ KHÍ TRIES VÀ KHÁ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÓNG NGHỆ CHỄ TẠO VI MẠCH • • •Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tửMã sô: 9520203LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỲ THUẬTHƯNG YÊN - 2022Bộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SU PHẠM KỸ THỤẬT HƯNG YÊNPHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YỂU TR Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch. ONG VA CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỬ KHÍ TRIES VÀ KHÀ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO VI MẠCHChuyên ngành: Kỳ thuật điện tửMã sô: 9520203LUẬN ÁN TIẾXác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch.
N SÌ KỸ THUẬTNGƯỜI HƯỚNG DẴN KHOA HỌC:1.PGS. TS Đỗ Anh Túấn2.PGS. TS Phạm Ngọc ThắngHƯNG YÊN - 20223LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan đây là công trình nghhttps://khothu vien .comBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC sư PHẠM KỸ THUẬT HƯNG YÊNPHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VA Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch. o khác, các dừ liệu tham khào được trích dán dãy đù.Hưng Yên, ngày tháng nõmTác giã luận ánPhan Thị TươiLÒI CẢM ƠNTrước tiên, tôi bày tò sự kính trọng và xin gửi lời càm ơn sâu sâc tới tập thế giáo viên hướng dần, PGS.TS Đô Anh Tuần và PGS.TS Phạm Ngọc Thắng đã luôn luôn nhiệt tình chỉ bào và luôn đ Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch. ộng viên đẽ tôi hoàn thành bàn luận án.Tiẽp theo, tôi gửi lời cảm ơn tới Phòng Đào tạo, Trường Đại học SPKTHY cùng các cán bộ công tác tại trường đã gXác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch.
iúp đờ tôi trong quá trình học tập, nghiên cứu khoa học và có những ý kiẽn đóng góp quý báu vẽ nội dung, bõ cục của luận án.Tôi xin gửi lời cảm ơn đếnhttps://khothu vien .comBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC sư PHẠM KỸ THUẬT HƯNG YÊNPHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VA Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch. ôi yên tâm thực hiện nội dung luận án.Cuối cùng, tôi muốn gửi lời càm 0*11 tới gia đình tôi, đà luôn động viên tôi đế tôi có động lực và quyết tâm thực hiện thành công luận án.Hưng Yên, ngày tháng nõmTác giả hiận ánPhan Thị TươiMỤC LỤCTrang Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch. https://khothu vien .comBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC sư PHẠM KỸ THUẬT HƯNG YÊNPHAN THỊ TƯƠIXÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HÓA YẾU TRONG VAGọi ngay
Chat zalo
Facebook