Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
Bộ GIÁO DỤC VẢ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA CÁC THÒNG SỎ CẢU TẠO ĐẾN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CÙA BỘ VI Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v CHẢP HÀNH MEMS KIEU TĨNH ĐIỆN RÀNG Lược VÀ ĐIỆN NHIỆT CHỮ VLUẬN ÁN TIÉN Sĩ KỸ THUẬT co KHÍHả Nội-2021Bộ GIÁO DỤC VẢ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÉNNGHIÊN CỨU ÀNH HƯỜNG CÙA CÁC THÔNG SÓ CÁU TẠO ĐÉN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CÙA Bộ VI CHẢP HÀNH MẺMS KIẺU TĨNH ĐIỆN RĂNG Lược VÀ ĐIỆN Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v NHIẸT CHỮ VNgành: Kỹ thuật cơ khí Ma số: 9520103LUẬN ÁN TIÉN Sĩ KỸ THUẬT CO' KHÍNGƯỜI Hướng Dân khoa HỌC:1PGS.TS. Phạm Hồng Phúc2PGS.TS. Vũ Công HàmHàNghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
Nội-2021LỜI C AM ĐOANTôi xin cam đoan đây lã công trinh nghiên cứu của cá nhân tối dưới sự hướng dẫn cua tập thê hướng dẫn vã các nhà khoa học. Tài lBộ GIÁO DỤC VẢ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA CÁC THÒNG SỎ CẢU TẠO ĐẾN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CÙA BỘ VI Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v thê hướng dầnHà Nội. ngày ihâng nam 202ỊNghiên cứu sinhPGS.TS. Phạm nồng PhúcHoàng Trung KiênLỜI CẢM ƠNTrái qua một thời gian dài, khó khấn và nhiều thư thách tác giá cũng đà hoàn thành băn luận án của minh. Trong suốt quá trinh đô. tác giá đà luôn nhận được sự giúp đờ hỗ trợ của các đơn vị chuyên Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v môn. tập thè hướng dần, các nhà khoa học, gia đinh và dồng nghiệp.Qua đày tác giã muốn gửi lời cám ơn sâu sắc tới tập thê hưiVng dẫn PGS.TS. Phạm HồngNghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
Phúc. PGS.TS. Vũ Công Hâm, nhừng người dà định hướng, tận tinh hướng dẫn chuyên môn và hô sung kịp thời nhừng kiên thức lien quan. Xin chân thành cámBộ GIÁO DỤC VẢ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA CÁC THÒNG SỎ CẢU TẠO ĐẾN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CÙA BỘ VI Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v dóng góp chuyên mồn quý báu và cung càp lài liệu tham kháo đó tác giá hoàn thành luận án này.rác giá xin cám om Viện Dào lạo Quốc tc về Khoa học vật liệu (ITIMS), viện l iên tiến Khoa học và Còng nghệ (AIST) trưởng Đại học Bách khoa Ilà Nội dà hồ trợ về thiết bị thí nghiệm, hướng dần vận hãnh dè tã Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v c giá có thể hoàn thành một số quy trinh thực nghiệm cùa luận án.rác giã cùng xin cámNghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v
thuật Quân sự đà đồng ỷ về chú Lrưomg, lạo điều kiện thuận lợi để lác giã sắp xếp thời gian vữa hoàn thánh nhiệm vụ chuyên môn vừa hoàn thánh luận ánBộ GIÁO DỤC VẢ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA CÁC THÒNG SỎ CẢU TẠO ĐẾN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CÙA BỘ VI Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v hành tốt nội dung nghiên cứu này.Tác giá luận ánHoàng I rung KiêniiMỤC LỤCLÒI CAM ĐOAN......................................................iLÒI CẤM ƠN.......................................................iiMỤC LỤC.........................................................iii Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v Bộ GIÁO DỤC VẢ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIHOÀNG TRUNG KIÊNNGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA CÁC THÒNG SỎ CẢU TẠO ĐẾN CHÁT LƯỢNG LÀM VIỆC CÙA BỘ VIGọi ngay
Chat zalo
Facebook