Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ

➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu: PDF

Số trang: 175 Trang

Tài liệu: ✅ ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT

TẢI VỀ

Nội dung chi tiết: Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ

iMỤC LỤCPHẤN MỞ ĐÀU...................................................1PHẤN I: TÒNG QUAN.............................................7CHƯƠNG 1: VÁT LI

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ IỆƯ A12O3....................................71.1.Khái quát vê ôxlt nhôm (AliOj).........................71.2.Tính (la hình của ôxỉt nhóm.............

...............71.3.Các pha cùa AIjO3......................................81.4.Màng mông AỈ2O3........................................151.5.Các hoạt Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ

động 1R và Raman của AI2O3...................16CHƯƠNG 2: CÁC PHƯƠNG PHÁP TẠƠ MÀNG MỎNG....................212.1.Phương pháp ngưng tụ từ (lung (lịch...

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ

................212.2.Phương pháp phún xạ magnetron.........................222.3.Phương pháp điện hóa..................................252.4.Một số t

iMỤC LỤCPHẤN MỞ ĐÀU...................................................1PHẤN I: TÒNG QUAN.............................................7CHƯƠNG 1: VÁT LI

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ ............... 303.2.Cơ sỡ cùa mò phóng....................................303.3.Hệ thống - mô hình - glài pháp........................313.4.ưu khuy

ết điểm của phương pháp mó phỏng...............333.5.Một số phương pháp mô phong...........................343.6.Các kỹ thuật mó phỏng................ Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ

.................353.7.Một số mò hình mõ phóng trong vật lý màng móng........353.8.Kết luận..............................................42PHẤN II: TH

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ

ỰC NGHIỆM.......................................43CHƯƠNG 4: MÓ PHÒNG PHÚN XẠ MAGNETRON - MÔ PHÒNG PHỎUVVIS VÀ TẠO MẤU MÀNG Al2ỏ3......................

iMỤC LỤCPHẤN MỞ ĐÀU...................................................1PHẤN I: TÒNG QUAN.............................................7CHƯƠNG 1: VÁT LI

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ hóng phún xạ............................494.4.Mô phòng phổ UWIS.....................................614.5.Tạo mẫu màng, (lo phồ vã xử lý phổ (lo......

..........72CHƯƠNG 5: KHÁO SÁT MÀNG MỎNG AI2O3 THựC HIÊN BÂNG PHÚNXẠ RF................................................ 755.1.Tạo màng mòng AI2O3 Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (al2o3) bằng phương pháp quang phổ

băng phún xạ RF...................75ii5.2.Kháo sát sự chuyên pha.............................81

iMỤC LỤCPHẤN MỞ ĐÀU...................................................1PHẤN I: TÒNG QUAN.............................................7CHƯƠNG 1: VÁT LI