Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano
Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano
Bộ GIÁO DỤC VẢ DÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIITIMSITIMSLÝ VÀN ĐẠTNGHIÊN cứu CHÉ TẠO CẤM BIÉN KHÍ VI CÂN TINH THẺ THẠCH ANH (ỌCM) sử DỤNG SỢI Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano NANOChuyên ngành: Vật liệu điện tửLUẬN VÃN THẠC SỶ KHOA HỌCNGUỠI HUÓNG DẪN KHOA HOC:PGS.TS VÚ NGỌC HÙNGHÀ NỘI - NÁM 20111MỤC LỤCMỞ ĐẢƯ..............................................................8CHƯƠNG 1............................................................9TỎNG QUAN VẺ CÒNG NGHỆ MEMS...... Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano ...................................9VÀ VI CẢN TINH THÊ THẠCH ANH QCM....................................9I I . CÓNG NGHỆMEMS..........................Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano
.....................91.1.1.Giới thiệu chung..........................................91.1.2. Công nghệ vi cơ khối ăn mòn khô.......................11Bộ GIÁO DỤC VẢ DÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIITIMSITIMSLÝ VÀN ĐẠTNGHIÊN cứu CHÉ TẠO CẤM BIÉN KHÍ VI CÂN TINH THẺ THẠCH ANH (ỌCM) sử DỤNG SỢI Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano E VI CẢN TINH THÊ THẠCH ANH QCM (QUARTZCRYSTAL MICROBALANCE)......................................... 131.2.1.Hiệu ứng áp điện (piezoelectricity)......................131.2.2.Tinh thể thạch anh (Quartz Crystal) và các mode dao động.14Hình 1.9: Mô tã các trục linh thể Quartz và củc................. Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano ...161.2.3.Nguyên lý hoạt đông và các yếu tố anh hương tới hoạt động cua vi cân tinhthế thạch anh Quartz - QCM......................................17Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano
1.2.4.ứng dụng cúa QCM.........................................22CHƯƠNG II..........................................................26THỰC NGHIÊM.....Bộ GIÁO DỤC VẢ DÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIITIMSITIMSLÝ VÀN ĐẠTNGHIÊN cứu CHÉ TẠO CẤM BIÉN KHÍ VI CÂN TINH THẺ THẠCH ANH (ỌCM) sử DỤNG SỢI Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano trong thiết kế linh kiện QCM.26II.1.2. Quy trinh chế tạo QCM...............................3211.2QUY TRÌNH TÒNG HỢP THANH NANO ZnO...........................39II.2.1 Tạo mầm..................................................40II.2.2.Quá trình thủy nhiệt....................................41 Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh QCM sử dụng sợi nano Bộ GIÁO DỤC VẢ DÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIITIMSITIMSLÝ VÀN ĐẠTNGHIÊN cứu CHÉ TẠO CẤM BIÉN KHÍ VI CÂN TINH THẺ THẠCH ANH (ỌCM) sử DỤNG SỢIGọi ngay
Chat zalo
Facebook