KHO THƯ VIỆN 🔎

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

➤  Gửi thông báo lỗi    ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu:     PDF
Số trang:         93 Trang
Tài liệu:           ✅  ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT
 













Nội dung chi tiết: Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel ROELECTRIC PROPERTY OF PZT THIN FILMS FABRICATED BY SOL-GEL METHODMASTER THESIS OF MATERIALS SCIENCE BATCH ITIMS - 2006Supervisor: Associate Prof. Dr.

vu NGOC HUNGHanoi - 2008BỌ GIÁO DỤC yÀ ĐÀO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI VIÊN ĐÀO TẠO QUỐC TẾ VẾ KHOA HỌC VẶT LIÊULÊ VĂN MINHNGHIÊN CỬU NÂNG CAO Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

TÍNH CHÁT SẤT ĐIẸN CỦA MÀNG MONG PZT CHẺ TẠO BANG CÔNG NGHỆ SOL-GELLUẬN VĂN THẠC sĩ KHOA HỌC VẬT LIỆU KHOẤ ITI.MS - 2006Người hướng dẫn khoa học: PGS

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

. TS. vũ NGỌC HÙNGHà Nội - 2008ACKNOWLEDGMENTSMy most sincere gratitude belongs to Associate Professor Vu Ngoc Hung for his continuous support and adv

MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel l Training Institute for Materials Science (ITIMS), a true pleasure.rd also like to acknowledge IMS, Twente University, MESA*, the Netherlands, for an

alyzing and measuring experiment samples including XRD. AFM. FE-SEM. and TF2000 piezoelectric mode. Special thanks go to PhD. Nguyen Due Minh, IMS, Tw Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

ente, University, MESA*, the Netherlands for directly implementing these analyses and measurements.I would also like to express my appreciation to the

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

rest of the MEMS Group including. Dr. Trinh Quang Thong, Nguyen Van Minh for their daily help and sincere friendship, special thanks go to Ms. Bui Th

MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel ls in 2007 and helped establish the scientific kernel and intrigue for completing this current work.I would also like to thank ITIMS for making a scie

ntific environment and facilities. Special thanks go to Dr. Nguyen Anh Tuan and Ms. Le Thanh Hung for sputtering supports and Dr. Pham Thanh Huy who g Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

ave me authority to use his group’s furnace system.Finally, I would like to thank my family, especially Mom. Dad, my old brothers, Le Van Son and Le V

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

an Quang, for their continual love and support as well as their forbearance of my scientific babble. Without this link to family, I would become total

MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel êu dể luận vãn:“Nghiên cứu nâng cao tính chất sất diện cùa màng mòng PZT chế tạo bằng công nghệ sol-gel"Tác giả:Lê Vãn MinhNgơời hưóĩig dần:PGS.TS. Vũ

Ngọc HùngNgười nhạn xét: 1.2Tóm tắt:Màng móng PZT [(PbZixTii-xjOsJ, với các lính chất sắt điện, áp điện, hoà điện nồi bật là một trong nhùng vật liệu Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

được nghiên cứu và ứng dụng trong lình vực còng nghệ MEMS, bộ nhớ FeRAM, vv... Tại phòng thi nghiệm MEMS của Viện ITIMS, màng mông PZT cùng đà được t

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

riền khai nghiên cứu trong thời gian vài năm trớ lại đày. Bước đầu đà xây dựng được quy trình tổng hợp sol-gel và chế tạo mảng móng PZT. xong còn một

MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel n văn nãy là tiến hành những nghiên cửu tiếp theo để tạo ra màng mông PZT có tính chất nàng cao nhẳm định hưởng trong các ứng dụng cúa nhóm MEMS. Tron

g luận văn này chúng lôi tập trung nghiên cứu nhăm nàng cao tinh chắt sắt điện, tránh việc nứt màng và giâm thiêu rosettes của màng mông P7.T. Bằng vi Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

ệc tối ưu hóa quy trinh sử lý nhiệt, nghiên cứu ảnh hường của vật liệu diện cực dế, vã dặc biệt lã nghiên cứu mãng móng PZT dị lớp. tinh chất của màng

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

dà dược nâng cao rõ rệt. Mãng móng P7T(53/47) trên dế Pt( 111)/Ti/Sio2/Si có định hướng ưu tiên (100) dà dược chế tạo thảnh công cỏ các thông số p. v

MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR

Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel và 65kv/cm. Màng PZ1(47 53)/PZ1(53 47) cấu trúc dị lóp trên để SRO/YSZ/Si đà đạt được giá trị Pr và Ec lương úng là 28uC/cm- và 60kV/cm.Từ khoá: Màng

mong PZT; Sol-gel; Màng mong sal điện; PZT cấu trúc dị lóp; Diện cực de SRO; Diện cực dế Platinum.INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIE Nghiên cứu nâng cao tính chất sắt điện của màng mỏng pzt chế tạo bằng công nghệ sol gel

NCEBATCH -2006Title of Msc. Thesis:

MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR

MINISTRY OF EDUCATION AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN MINHIMPROVEMENT IN FERR

Gọi ngay
Chat zalo
Facebook