Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography)
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography)
Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography)
Bộ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO TRƯỜNG DẠI HỌC BẤC II KHOA HÀ NỘILUẬN VĂN THẠC SỸ KHOA HỌCNGĨĨĨÊN CỨU CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO THƯỚC KÍNH BÂNG PHƯƠNG PHÁP QUANG KHÁC( Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography) (PHOTOLITHOGRAPHY)NGÀNII cơ KHÍ CHÍNH XÁC VÀ QUANG HỌC MẰ SÓ;PHẠM XUẨN KHẢINgười hướng dần khoa học: TS. NGUYỄN THỊ PHƯƠNG MAIHÀ NỘI 20072MỤC LỤCTrangMục lục.................................................. 2Danh sách các hỉnh vè.................................... 3Lời nói đau..................... Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography) ......................... 6CHƯƠNG 1. THƯỚC KÍNH VÀ CẤC: PHƯƠNG PHÁP C HÉ TẠOMẶT NẠ VẢ THAN THƯỚC .................................... 91.1.Tông quan vNghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography)
ề thước kinh ........................ 91.2.Các phương pháp chế tạo thân thước kính ....... 22C HƯƠNG 2. CÔNG NGHẸ GIA CÓNG BẢNG QUANG KHẤC .........26Bộ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO TRƯỜNG DẠI HỌC BẤC II KHOA HÀ NỘILUẬN VĂN THẠC SỸ KHOA HỌCNGĨĨĨÊN CỨU CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO THƯỚC KÍNH BÂNG PHƯƠNG PHÁP QUANG KHÁC( Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography) g khắc... 382.4.Quang khác bâng lia Rưnlghen (tia X)........... 492.5.Quang khac bang chùm điện tữ................... 50CHƯƠNG 3. CHÍ: TẠO MẠ I NẠ VÀ THÂN THƯỚC KÍNH BẢNGCÔNG NGHÊ QUANG KHẤC-ĂN MÒN............................. 533.1.Yêu cầu kỳ thuật cua mặt nạ và thân thước kính. 533.2.Chò tạo khuôn Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography) .................................. 543.3.Quy trinh công nghệ làm thân thước kinh........ 553.4.Các kết qua đạt được........................... 60CHƯƠNNghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography)
G 4. CHÉ TẠO THƯỚC KÍNH VỞI THAN THƯỚC VÀMẠT NẠ LẤM BẢNG CÔNG NGHẸ QUANG KHẤC.................... 654.1.Thiết ke phân dầu dọc của thước kinh..........Bộ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO TRƯỜNG DẠI HỌC BẤC II KHOA HÀ NỘILUẬN VĂN THẠC SỸ KHOA HỌCNGĨĨĨÊN CỨU CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO THƯỚC KÍNH BÂNG PHƯƠNG PHÁP QUANG KHÁC( Nghiên Cứu Công Nghệ Chế Tạo Thước Kính Bằng Phương Pháp Quang Khắc (Photolithography) .................. 78Tài liệu tham kháo...................................... 79Bộ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO TRƯỜNG DẠI HỌC BẤC II KHOA HÀ NỘILUẬN VĂN THẠC SỸ KHOA HỌCNGĨĨĨÊN CỨU CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO THƯỚC KÍNH BÂNG PHƯƠNG PHÁP QUANG KHÁC(Gọi ngay
Chat zalo
Facebook