Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán
Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán
LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán ô đã đóng góp nhiêu ý kiên khoa học quý báu cũng nhu' tạo mọi điều kiện thuận lợi đẽ tôi hoàn thành luận án này.Tôi xin trân trọng cảm ơn GS.TS. Nguyên Văn Hiếu, GS.TS. Nguyên Đức Hòa và tập thế cán bộ Phòng thí nghiệm nghiên cứu phát triẽn và ứng dụng Cảm biến nano (ITIMS) đã luôn nhiệt tình giúp đ Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán ờ. chia sé kinh nghiệm và gợi mở nhiều ý tưởng quan trọng đẽ lôi thực hiện các nghiên cứu cùa luận án. Tôi xin gửi lời cám ơn TS. Phan Thị Lê Minh vàNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán
các dông nghiệp tại Bộ môn Y vật lý - Trường Đại học Y Hà Nội cùng các nghiên cứu sinh, học viên cao học cùa nhóm Câm biên khí - viện ITIMS đã luôn đôLỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán ào tạo Trường Đại học Bách khoa Hà Nội và Trường Đại học Y Hà Nội đã tạo điều kiện cho tôi được học tập và nghiên cứu.Cuối cùng, tôi xin giri lời cám ơn tới gia đình, bạn bè đã luôn động viên, khích lệ đê tôi hoàn thành luận án này.Tác giàTrần Thị Ngọc Hoa1LỜI CAM ĐOANTác giả xin cam đoan nội dung c Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán úa luận án là công trình nghiên cứu cúa riêng tôi dưới sự hướng dân của PGS.TS. Nguyên Văn Duy và PGS.TS. Đặng Thị Thanh Lê. Các số liệu và kết quả trNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán
ong luận án trung thực và chưa được tác giã khác công bõ.Giáo viên hướng dầnHà Nội, ngày tháng năm 2021Tác giàPGS.TS. Nguyền Vãn DuyTrân Thị Ngọc HoaPLỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán ...............21Hình 1.2, Cơ chế nhạy khí của dây nano biến tính trên cơ sở chuyến tiếp p-n: (a) Dây nano lo.ai n b.iẽn tính yởi hat nano loại p; (b.) sự hình thành vùng nghèo của dây nanọ biên tính vời nông đô hat tái của dây nano biên tính vời nông đô hat tái của vât liêu biển tính lờn hơn nhiều Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán so vời dãy nano; (c) trương hơp ngươc laiựd.e) mô hình vùng năng lượng cùa dây na no và vật liệu biến tính trước và sau khi biến tính r 11.......25HìnNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán
h 1.3. Cơ chê nhay khí của dãy nano biẽn tính trên cơ sờ tiẽp xúc di thê có cùng loại hạt tài: (a) trường hợp dây nano có cõng thoát diện tù’ nhó hơn LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán SnOz/p-CuzO 1381.........29Hình 1.9. (a) Đáp úng khí của của dây nano SnQ? và cãu trúc SnQz/ZnO vời 3 loai khí khử nông dô 500 ppm, nhiêt dô 250 nC; (b) Đáp ứng khí của câu trúc SnOz.'ZnO tai các nhiêt dô khác nhau [551................................................35Hình 1:10: D.ộ nhay khí HzS tại Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán nhiệt .dộ 50. °C cùa cùa tãm nano WQs (a) và hôn hợp nano Au'SnQz trên bê măt tám nano WCh (b) [751.................................36Hình 1.11. TínhNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán
chất chon lọc khí tai RT (a) và dáp ứng khí HzS theo nhiêt dô (bì cùa SnOz, NiQ và SnQz/NiO [841.....................................................LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán ............39Hình 2.1, (a) Sơ dồ khối; (bì hình ánh của hê bốc bay nhiêt CVD tai Viên ITIMS ill. 42Hình 2.2. Mô hình chẽ tao dây nano SnCh: (1) oxi hóa lờp Si dẽ tao SiO:; (2) phủ lơp cán quang: (31 quang khắc dế tạo hình điện cực: (4) phù lớp Pt đẽ chẽ tạo điện cực răng lươc; (5) moc dây nano SnQz Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán bằng phương pháp bôc bay nhiêt (CVD) [ 11... .43Hình 2-3, Chu trình nhiệ.LdiẽiaQ-dâỵjĩaaQ-SiLQjL.............................44Hinh.2.4.. .Mô .hình tNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán
hiệt ke che t.ạ.Q .d.ây .nano cau .true .dị the .S.nOz/S.MQ.4fiHình 2.5, Sơ do nguyên lý hê bốc bay bâng chùm diên tử............................429HìLỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy cô Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán .50Hình 2,7, Sơ độ nguyện lý hệ do khí cho phương pháp đọ động cai Viện 1T1MS í 11-53LỜI CẢM ƠNLời đầu tiên, tôi xin bày tò lòng biết ơn sâu sác tới thãy, cô giáo hướng dán PGS.TS. Nguyền Văn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lê các thầy côGọi ngay
Chat zalo
Facebook