Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
LỜI CÀM ƠNLời đẩu tiên, tôi xin bày tó lòng biết cm sâu sác tới thầy, cò giáo hướng dần PGS.TS. Nguyễn Vãn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lè các thay cò Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn ò đã đóng góp nhiều ỷ kiên khoa học quý báu cùng như tạo mọi điều kiện thuận lợi để tôi hoãn thành luận án này.Tòi xin trân trọng căm ơn GS.TS. Nguyền Vãn Hieu. GS.TS. Nguyền Đức Hòa và tập thê cán bộ Phòng thi nghiệm nghiên cứu phát triển và ứng dụng Câm biến nano (ITIMS) đà luôn nhiệt tinh giúp dở Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn . chia sẽ kinh nghiệm và gợi mở nhiều ý tường quan trọng đề tòi thực hiện các nghiên cứu của luận án. Tòi xin gửi lời căm ơn TS. Phan Thị Lè Minh và cNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
ác dồng nghiệp tại Bò môn Y vật lý - Trường Đại học Y Hã Nội cùng các nghiên cứu sinh, học viên cao học cũa nhóm Căm biên khí - viện ITIMS đã luôn đonLỜI CÀM ƠNLời đẩu tiên, tôi xin bày tó lòng biết cm sâu sác tới thầy, cò giáo hướng dần PGS.TS. Nguyễn Vãn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lè các thay cò Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn o tạo Trường Đại học Bách khoa Hà Nội và Tnrỡng Đại học Y Hâ Nội đà tạo diều kiên cho tỏi được học tập và nghiên cứu.Cuối cùng, tôi xin gữi lời cam ơn tới gia đinh, ban bè đã luôn đòng viên, khích lệ đề tỏi hoàn thành luận án này.Tác giáTrần Thị Ngọc Hoa1LỜI CAM ĐOANI ác giã xin cam đoan nội dung củ Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn a luận án là còng trình nghiên cứu cùa riêng tôi dưới sự hướng dần cua PGS.TS. Nguyền Vãn Duy và PGS.TS. Đặng Thị Thanh l.ê. Các số liệu và kết quà trNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
ong luận án trung thực và chưa được lác già khác công bố.Hà Nội, ngày tháng năm 2021 Giáo viên hướng dầnTác giáPGS.TS. Nguyền Vãn DuyTrần Thị Ngọc HoaLỜI CÀM ƠNLời đẩu tiên, tôi xin bày tó lòng biết cm sâu sác tới thầy, cò giáo hướng dần PGS.TS. Nguyễn Vãn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lè các thay cò Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn chế nhạy khí cua dãy nano biến tinh trên cơ sớ chuyến tiếp p-n: (a) Dây nano loại n biến tinh với hạt nano loại p; (b) sự hình thành vùng nghèo của dây nano biên tính vói nồng độ hạt lãi của dày nano biến tinh vói nồng độ hạt tài của vật liệu biến tính lớn hơn nhiều so với dây nano; (c) trường hợp n Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn gược lại;(d,e) mò hình vùng năng lượng của dây nano và vật liệu biến tính trước và sau khi biền linh [1]........25Hình 1.3. Cơ che nhạy khi của dây naNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
no biến tính trên cơ sờ tiếp xúc dị thê có cùng loại hạt tai: (a) trường hợp dây nano có còng thoát điện từ nhó hơn so với vật liêubiên linh và (b> dâLỜI CÀM ƠNLời đẩu tiên, tôi xin bày tó lòng biết cm sâu sác tới thầy, cò giáo hướng dần PGS.TS. Nguyễn Vãn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lè các thay cò Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn 9. (a) Đáp ứng khí cùa cùa dày nano SnOz và cấu trúc SnOz ’ZnO với 3 loại khí khử nồng độ 500 ppm. nhiệt độ 250 °C; (b) Đáp ứng khí của cấu trúc SnO; ZnO tại các nhiệt độ khác nhau [55]...............................................35Hình 1.10. Độ nhay khi HzS tại nhiệt độ 50 °C cùa của tấm nano WO3 Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn (a) và hồn hợp nano Aa'SnOz trên bề mặt lam nano WO3 (b) [75]................................36Hình 1.11. Tính chất chọn lọc khi tại RT (a) vã đáp ứnNghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
g khí HzS theo nhiệt độ (b) cúa SnOz, NiO và SnOz'NiO [84]....................................................38Hình 1.12. Đáp ứng khí H?s (150-Ỉ-750 LỜI CÀM ƠNLời đẩu tiên, tôi xin bày tó lòng biết cm sâu sác tới thầy, cò giáo hướng dần PGS.TS. Nguyễn Vãn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lè các thay cò Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn b) hình ành cùa hệ bốc bay nhiệt CVD tại Viên ITIMS [1]. ..............................................................................42 Hình 2.2. Mò hình chế tạo dây nano S11O2: (1) oxi hóa lớp Si đê tạo S1O2; (2) phũ lớp cân quang; (3) quang khắc đè tạo hình điện cực; (4) phu lóp Pt đẻ chẻ tạo đi Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn ện cực răng lược; (5) mọc dây nano S11O2 bằng phương pháp bốc bay nhiệt (CVD) [1].... 43Hình 2.3. Chu trình nhiệt chế tạo dãy nano S11O2..............Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
.....44Hình 2.4. Mò hình thiết kế chế tạo dây nano cấu trúc dị thể SnOz/SMO.46Hình 2.5. Sơ đồ nguyên lý hệ bốc bay băng chùm điện lử.............479HìLỜI CÀM ƠNLời đẩu tiên, tôi xin bày tó lòng biết cm sâu sác tới thầy, cò giáo hướng dần PGS.TS. Nguyễn Vãn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lè các thay cò Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn 0Hình 2.7. Sơ dồ nguyên lý hệ do klú cho phương pháp do dộng tại Viện ITIMS [ 1J. ......................................................................53 Hình 3.1. Ilinli ánh SEM và phàn tích EDS cua cam biến so (A. B). S2 (C. D) và S5 (E, 1)......................................................... Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn .......57Hình 3.2. Hình ành TEM: cam biến so (A), S2 (B) và S5 (C): Anh IIRTEM cua hạt nano AgĩO trên bề mặtdây nano SnO?.............................Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn
......58Hình 3.3. Độ dáp ứng klú II:S (0.1 : 1 ppm) ớ các nhiệt dộ khác nhau cùa các cám bicn: SO (A), SI (B), S2 (C), S3 (D), S4 (E) và S5 (F).......LỜI CÀM ƠNLời đẩu tiên, tôi xin bày tó lòng biết cm sâu sác tới thầy, cò giáo hướng dần PGS.TS. Nguyễn Vãn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lè các thay cò Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn à S5 (F)....62Hình 3.5. Độ đáp ứng khi cùa các câm biến (A) tại 200 °C: Thời gian đáp ứng khí cua các câm biến tại các nhiệt độ khác nhau (B)...........................63 Nghiên cứu chế tạo và tính nhạy khí của cấu trúc dị thể giữa dây nano sno2 và một số oxit kim loại bán dẫn LỜI CÀM ƠNLời đẩu tiên, tôi xin bày tó lòng biết cm sâu sác tới thầy, cò giáo hướng dần PGS.TS. Nguyễn Vãn Duy và PGS.TS Đặng Thị Thanh Lè các thay còGọi ngay
Chat zalo
Facebook