Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano
Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano
MINISTRY OF EDUCATION /AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND SCIENCE INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN TAMSTUDY A Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano AND OPTIMIZING DESIGN OF SCANNING PROBES FOR NANOLITHOGRAPHYMASTER THESIS OF MATERIALS SCIENCEBatch ĨTĨMS-2015SUPERVISORDr. c HU MANH HOANGHanoi - 2017*ACKNOWLEDGEMENTI would like to thank my supervisor. Dr Chu Manh Hoang who has supervised and encouraged me during my stay at ITEMS.Acknowledgement w Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano ould be also sent to all the members of optical micro-nano systems and sensors technology Laboratory - International Training Institute for MaterialsNghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano
Science (ITIMS).Finally, thanks should also be given to my family and friends, who always supported me in my study.ILIST OF PUBLICATIONS1Le Van Tam. DMINISTRY OF EDUCATION /AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND SCIENCE INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN TAMSTUDY A Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano ering Physics, pp 285-288, 2015, ISBS 978-604-913-232-2.2Le Van Tam. Dang Van Hieu, Vu Ngoc Hung and Chu Manh Hoang. "Electrostatic Actuator For Improving Scanning Probe Lithography", 9th Vietnam National Conference of Solid Physics and Materials Science, pp 393-397. 2015. ISBN 978-604-938-722-7.3Le Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano Van Tam. Dang Van Hieu. Vu Ngoc Hung and Chu Manh Hoang. "A MicroSuspension Electrostatic Actuator For Improving The Performance Of Scanning Probe NaNghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano
nolithography", 3rd International Conference on Advanced Materials and Nanotechnology, pp.285-288. 2016. ISBN 978-604-913-232-2.4Dang Van Hieu, Le VanMINISTRY OF EDUCATION /AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND SCIENCE INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN TAMSTUDY A Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano technology, pp.221-224, 2017, ISBN 979-604-95-0298-9.5Le Van Tam. Dang Van Hieu. Nguyen Duy Vy. Vu Ngoc Hung and Chu Manh Hoang. "Design And Simulation Analysis Of An Electrostatic Actuator For Improving The Performance Of Scanning Probe Nanolithography", Vietnam Journal Of Science And Technology, p Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano p.484-493 55. 4. 2017. DOI: 10.15625/2525-2518/55/4'8803.IISTATEMENT OF ORIGINAL AUTHORSHIPI hereby declare that the results presented in the thesis aNghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano
re performed by the author. The research contained in this thesis has not been previously submitted to meet requirements for an award at this or any hMINISTRY OF EDUCATION /AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND SCIENCE INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN TAMSTUDY A Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano Scanning probe microscopes (SPMs)................................61.1.1.Scanning tunneling microscope (STM)..........................61.1.2.Atomic force microscope (AFM)................................71.2.Scanning probe lithography (SPL)...............................81.3.Mechanical Scratching..... Nghiên cứu thiết kế tối ưu mũi dò quét định hướng ứng dụng trong kỹ thuật khắc nano .....................................91.4.Cantilever actuator.............................................14MINISTRY OF EDUCATION /AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND SCIENCE INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN TAMSTUDY AMINISTRY OF EDUCATION /AND TRAINING HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND SCIENCE INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCELE VAN TAMSTUDY AGọi ngay
Chat zalo
Facebook