Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems

➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu: PDF

Số trang: 86 Trang

Tài liệu: ✅ ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT

TẢI VỀ

Nội dung chi tiết: Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems

Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems

Bộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘINGUYỀN ĐÌNH HƯỞNGTHIẾT KÉ CẢI TIẾN VÀ LẶP QUY TRÌNH CHẺ TẠO MICROMOTOR QUAY DựA TRÊN CÒNG NGHẸ M

Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems MEMSChuyên ngành:Cơ ĐIÉN TửLUẬN VÃN THẠC sì KHOA HỌCCơ ĐIẸN Từ - CÒNG NGHẸ cơ ĐIẸN TỬNGƯỜI HƯỞNG DẦN KHOA HỌC:1. TS. PHẠM HỎNG PHÚCHù Nôi - 11/2010MỤC

LỤCMỤC LỤCTrangLỜI CAM ĐOAN.......................................................iDANH MỤC CÁC KÍ HIỆU. CÁC CHỪ VIÉT TẤT............................ Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems

iiDANH MỤC CÁC HÌNH VÈ. ĐÓ THỊ.....................................iiiLỜI NÓI ĐÀU.......................................................viCHƯƠNG I. TÓ

Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems

NG QUAN VẺ CÔNG NGHỆ MEMS VÀ MICROMOTOR.....................I1.1Tòng quan về công nghệ MEMS..................................I1. 1.1 Giới thiệu về côn

Bộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘINGUYỀN ĐÌNH HƯỞNGTHIẾT KÉ CẢI TIẾN VÀ LẶP QUY TRÌNH CHẺ TẠO MICROMOTOR QUAY DựA TRÊN CÒNG NGHẸ M

Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems ...............31.1.4ứng dụng công nghệ MEMS..................................41.1.5Thị trường MEMS..........................................61.2Micro

motor sự phát triển và các ứng dụng.....................71.2.1Chuyền động luyến tính...................................71.2.2Động cơ quay - Rotary mot Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems

or...................................111.2.3Truyền và biến đổi chuyển động..........................14CHƯƠNG 2. LÝ THUYẾT TỈNH ĐIỆN...................

Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems

..................162.1Lý thuyết lĩnh điện.........................................162.1.1Khái niệm về lý thuyết tỉnh điện........................162.

Bộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘINGUYỀN ĐÌNH HƯỞNGTHIẾT KÉ CẢI TIẾN VÀ LẶP QUY TRÌNH CHẺ TẠO MICROMOTOR QUAY DựA TRÊN CÒNG NGHẸ M

Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems Y VÀ THIÊT KÊ CÁI TlEN....................233.1ứng dụng bộ kích hoạt răng lược dể thiết kế micromotor quay.233.2Micromotor quay kiểu cù...............

......................243.2.1Thiết kế và nguyên lý hoạt động micromotor quay kiểu cù.......25 Thiết kế cải tiến và lập quy trình chế tạo micromotor quay dựa trên công nghệ mems

Bộ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘINGUYỀN ĐÌNH HƯỞNGTHIẾT KÉ CẢI TIẾN VÀ LẶP QUY TRÌNH CHẺ TẠO MICROMOTOR QUAY DựA TRÊN CÒNG NGHẸ M