Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
ĐẠI HỌC QUÓC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNPhạm Thị HồngCHÊ TẠO MÀNG MÒNG SỈ5N4. SiO2 VÀ MẢNG TREO SÌ3N4 BẰNG PHƯƠNG PHẤP LÃNG ĐỌNG HO1 H Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasmaHÓA HỌC TẢNG CƯỜNG PLASMALUẬN VÃN THẠC sì KHOA HỌCHà Nội-Năm 2018ĐẠI HỌC QƯÓC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG DẠI HỌC KHO A HỌC Tự NHIÊNPhạm Thị HôngCHE TẠO MÀNG MONG Si3N4, SiO2 VÀ MÀNG TREO SỊ,N4 BẢNG PHƯƠNG PHẤP LANG DỌNG nơi HÓA HỌC TÁNG CƯỜNG PLASMAChuyên ngành: Vật Lý Chất Răn Mà số: 8440130.02LUẬN VÀN THẠC Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma sì KHOA HOCNGƯỜI HƯỚNG DÁN KHOA HỌC: TS. Nguyen Việt TuyênTS. Nguyen Quốc HungHà Nội-Năm 2018LỜI CẤM ƠNĐầu tiên, tôi xin chân thành cam ơn Thay cua tChế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
ôi: thầy Nguyền Việt Tuyên và thầy Nguyễn Quổc Hưng đã hướng dần. chi dạy tói trong quá trinh học tập. làm việc cũng như trong tư duy khoa học đề hoànĐẠI HỌC QUÓC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNPhạm Thị HồngCHÊ TẠO MÀNG MÒNG SỈ5N4. SiO2 VÀ MẢNG TREO SÌ3N4 BẰNG PHƯƠNG PHẤP LÃNG ĐỌNG HO1 H Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasmat từ trung tâm Nano và Nâng Lượng, trường Đại học Khoa Học Tự Nhiên - ĐHQGHN. anh Phạm Văn Duy, anh Nguyền Đức Huy. chị Phan Thị Giang từ khoa Vật lý. Đại học Quốc lập Đông Hoa đà hồ trợ và giúp dờ tòi trong quá trinh làm luận văn này.Tôi xin gửi lời câm ơn sâu sắc đến toàn thế thầy cô cua Bộ mòn Vậ Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasmat lý Chat RÁn cũng như toàn thể thầy cò trong Khoa Vật lý, Đại học Khoa Học Tự Nhiên. Đại học Quốc gia Hà NỘI đà chi dạy kiến thức và tạo điều kiện chChế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
o tôi hoàn thành đề tài này. Tòi xin câm ơn trung tâm Nano và Năng lượng đà tạo điều kiện cho tôi được thực tập và nghiên cửu tại đây.Tôi câm ơn sự hồĐẠI HỌC QUÓC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNPhạm Thị HồngCHÊ TẠO MÀNG MÒNG SỈ5N4. SiO2 VÀ MẢNG TREO SÌ3N4 BẰNG PHƯƠNG PHẤP LÃNG ĐỌNG HO1 H Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasmatrường Đại học Khoa Học Tư Nhiên, Đại học Quốc gia Hà Nội đà tận tình giang dạy, truyền đạt kiến thức, giúp tòi hoàn thành luận văn.Tôi cam ơn tat cà các đong nghiệp cua tôi: Đặng Hừu Tùng. Đặng Tuan Linh. Nguyễn Thị Thu Thào và dong nghiệp tại trung tâm nano đã luôn hồ trợ và giúp đờ tôi trong quá Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasmatrình hoàn thành luận vãn này. Tôi câm ơn bạn Phan Vũ Thị Vân. Nguyền Thị Hà Xuyên. Nguyền Thị Chinh vả tập thể 109 TI là bạn đồng hành và đóng viên tChế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
ôi trong quá trình thực hiện luận vãn này.Cuối cùng, tòi xin câm ơn gia đinh và bạn bê đà luôn động viên và giúp đờ tòi trong thời gian vừa qua.Hà NộiĐẠI HỌC QUÓC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNPhạm Thị HồngCHÊ TẠO MÀNG MÒNG SỈ5N4. SiO2 VÀ MẢNG TREO SÌ3N4 BẰNG PHƯƠNG PHẤP LÃNG ĐỌNG HO1 H Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma hướng dẫn của TS. Nguyền Việt Tuyên và TS. Nguyền Quốc Hưng. Những nội dung tham kháo đều dược trích dần từ các tãi liệu được liệt kê trong danh mục lài liệu tham kháo của công trinh nghicn cứu.IIọc viên thực hiệnPhạm Thị HôngMỤC LỤCMơ ĐẢU............................................................ Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma.........1CHƯƠNG I: TỎNG QUAN........................................................31.1.Giới thiệu tồng quan vè mãng mong SÌ3N4, SiO2 và mãng treo SChế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
Ì3N4...31.1.1Mảng móng SÌ3N4.................................................31.1.2Màng mỏng SiO2..................................................41.ĐẠI HỌC QUÓC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNPhạm Thị HồngCHÊ TẠO MÀNG MÒNG SỈ5N4. SiO2 VÀ MẢNG TREO SÌ3N4 BẰNG PHƯƠNG PHẤP LÃNG ĐỌNG HO1 HĐẠI HỌC QUÓC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊNPhạm Thị HồngCHÊ TẠO MÀNG MÒNG SỈ5N4. SiO2 VÀ MẢNG TREO SÌ3N4 BẰNG PHƯƠNG PHẤP LÃNG ĐỌNG HO1 HGọi ngay
Chat zalo
Facebook