Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử

➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu: PDF

Số trang: 166 Trang

Tài liệu: ✅ ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT

TẢI VỀ

Nội dung chi tiết: Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử

Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử

BỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BẤC II KHOA HÀ NỘINGUYÊN VÃN .MINHNGHIÊN cứu CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO DÂY VÀ CỘT NANO SII.IC I RÊN COỉ SỜ CÔNG NGHÊ VI

Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử co DIỆN TÙ*LUẬN ÁN TIÉN SĨ NGÀNH: KHOA HỌC VẬT LIỆUĩĩà Nội-2019Bộ GIÁO DỤC VÀ DÀO TẠO • • •TRƯỜNG DẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỌINGUYỀN VĂN MINHNGHIÊN cứu C

ÔNG NGHỆ C1IÍ: TẠO DÂY VÀ CỘT NANO SII.ỈC TRÊN CO SÒ CÔNG NGHỆ VI CO DIỆN TÙ’LUẬN ÁN TIÉN SĨ NGÀNH: KỸ THUẬT VIÊN THÔNGMà số: 9440122Người hướng dan k Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử

hoa học:1PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng2GS. TS. Vũ Ngọc Hùngĩĩà Nội-2019LỜI CAM ĐOANTÒI xin cam đoan đày Là còng trinh nghiên cíni cùa liêng tỏi, do tòi thực

Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử

hiện dưới sự hướng dân khoa học cua lập thê các lliây hường dán. Các só liệu ỉiong luận án này là trung thực và chua tùng dược tác giã khác còng bo.l

BỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BẤC II KHOA HÀ NỘINGUYÊN VÃN .MINHNGHIÊN cứu CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO DÂY VÀ CỘT NANO SII.IC I RÊN COỉ SỜ CÔNG NGHÊ VI

Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử nMớ đầuCHƯƠNG 1. TỎNG QUAN VÈ DÂY VÀ CỘT NANO SILIC......................................................................1ì. ỉGiói thiêu chung ve dày

và cột nano siỉic............................................................ỉ1.2Tình hình nghiên cữu trên thế giới................................... Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử

..................................................... 51.2.1Tống quan về các phương pliáp chế tạo dãy nano silic......................................

Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử

.........51.2.1.1Kỳ thuãt quang khác..........................................................................51.2.1.2Kỳ thuật khắc bàng giao thoa las

BỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BẤC II KHOA HÀ NỘINGUYÊN VÃN .MINHNGHIÊN cứu CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO DÂY VÀ CỘT NANO SII.IC I RÊN COỉ SỜ CÔNG NGHÊ VI

Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử ............91.2.1.4Kỳ thuật khắc bàng chúm điện tử.............................................................10

BỌ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BẤC II KHOA HÀ NỘINGUYÊN VÃN .MINHNGHIÊN cứu CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO DÂY VÀ CỘT NANO SII.IC I RÊN COỉ SỜ CÔNG NGHÊ VI