Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
BÒ GIẢO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐộng Văn HiếuNGHIÊN cửu THIÉT KÉ VÀ MÔ PHÓNG HOẠT ĐỌNG CỦA BỌ VI CHẤP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỞN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano NG ỬNG DỤNG KHẤC CÁC CÁU TRÚC N ANOLUẬN ẤN TIÉN SĨ KHOA HỌC VẠT LIỆUHà Nội-2021BỌ GIAO DỤC VA ĐAO TẠOTRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiếuNGHIÊN cửu THI ÉT KÉ VÀ MÔ PHÒNG HOẠT ĐỌNG CÙA BỌ VI CHÁP HÀNH MŨI DÕ QUÉT ĐỊNH HƯỚNG ƯNG DỤNG KHẤC CẤC CẤU TRÚC NANONgành: Khoa học Vật liệuMã sổ: 9440122 Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano LUẬN ÁN TIẾN Sì KHOA HỌC VẬT LIỆUNGƯỜI HƯỚNG DÁN KHOA HỌC:1PGS. TS. CHU MẠNH HOÀNG2TS. VŨ THU HIENHà Nội - 2020LỜI CAM DOANTòi xin cam doan đày Là cònNghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
g trinh nghiên cứu cua riêng tôi dưới sự hướng dần cua PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng vã TS. Vù Thu Hiền. Các số liệu và kết qua trong luận án là hoàn loàn tBÒ GIẢO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐộng Văn HiếuNGHIÊN cửu THIÉT KÉ VÀ MÔ PHÓNG HOẠT ĐỌNG CỦA BỌ VI CHẤP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỞN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano uLÒI CẢM ƠNTrước hết, tôi xin bày tô lòng kính trọng và biết ơn sâu sắc đến PGS.TS. Chu Mạnh Hoàng và TS. Vù Thu Hiền, nhùng người thầy đà truyền động lực nghiên cửu cho tòi. đà tận linh hướng dần. giúp đờ vả tạo mọi điều kiện thuận lợi cho tói trong suốt quá trinh học tập. nghiên cửu vả thực hiện l Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano uận án. Nhờ sự chi bão lận lình cùa các thầy, tòi đà có được nhừng kiến thức về khoa học vật liêu, về các công nghê chế tạo. những kinh nghiêm và phươNghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
ng pháp nghiên cửu. phương pháp viết bài và đăng bài trên các tạp chí ISI vã trên het là mơ ra con đường nghiên cứu khoa học tiếp theo của bân thân.TỏBÒ GIẢO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐộng Văn HiếuNGHIÊN cửu THIÉT KÉ VÀ MÔ PHÓNG HOẠT ĐỌNG CỦA BỌ VI CHẤP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỞN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano ật chất và tinh thần giúp tòi hoàn thành luận án.Tôi xin chân thành cam ơn GS.TS. Vù Ngọc Hùng, củng các anh, chi. em trong phòng thí nghiêm MEMS, Viện ITIMS: ThS. Lê Văn Tâm. TS. Nguyền Ngọc Minh. NCS. Nguyễn Thanh Hương. TS. Nguyễn Văn Minh. TS. Nguyền Thị Quỳnh Chi. TS. Ngó Đức Quàn. ThS. Nguyễn Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano Ngọc Sơn... đà chia sẽ nhùng kinh nghiêm nghiên cứu khoa học. đà đông viên và có nhùng thao luận góp ỷ giúp tôi hoàn thành luận án.Tôi xin chân thànhNghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
cám ơn TS. Nguyền Văn Toán đà tạo điều kiện và hướng dần tòi sư dụng các thiết bị và làm việc trong phòng sạch.Tói cũng xin được gửi lời cảm ơn tới bạBÒ GIẢO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐộng Văn HiếuNGHIÊN cửu THIÉT KÉ VÀ MÔ PHÓNG HOẠT ĐỌNG CỦA BỌ VI CHẤP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỞN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano vừng chắc, là chồ dựa tinh thân đẽ tôi có thê yên tâm nghiên cứu trong suốt thời gian vừa qua.Hà Nội, ngày .... tháng .... năm 20....Tác giáĐặng Văn HiếuMỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN.....................................................................i Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano BÒ GIẢO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐộng Văn HiếuNGHIÊN cửu THIÉT KÉ VÀ MÔ PHÓNG HOẠT ĐỌNG CỦA BỌ VI CHẤP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỞNGọi ngay
Chat zalo
Facebook