Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạmNội dung chi tiết: Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIẺT KÊ VÀ MÓ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÃP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano NG ỨNG DỤNG KHÀC CÁC CÃU TRÚC NANOLUẬN ÁN TIÉN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆUHà Nội - 2021Bộ GIÁO DỤC VA ĐAO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiẽuNGHIÊN CỨU THIÉT KÉ VÀ MÒ PHÒNG HOẠT ĐỘNG CÙA BỘ VI CHÀP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG KHÁC CÁC CÀU TRÚC NANONgành: Khoa học vật liệuMã số: 944012 Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano 2LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆUNGƯỜI HƯỚNG DÀN KHOA HỌC:1PGS. TS. CHU MẠNH HOÀNG2TS. VŨ THU HIÊNHà Nội - 2020https: //k hot h u vien .comLỜI CAM ĐONghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
ANTôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu cúa riêng tôi dưới sự hướng dần cúa PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng và TS. Vũ Thu Hiên. Các só liệu và kết quàBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIẺT KÊ VÀ MÓ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÃP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano . Chu Mạnh HoàngĐặng Văn HiêuLỜI CÁM ƠNTrước hêt, tôi xin bày tỏ lỏng kính trọng và biêt ơn sâu sắc đên PGS.TS. Chu Mạnh Hoàng và TS. Vũ Thu Hiên, những người thây đă truyên dộng lực nghiên cứu cho tôl, đẳ tận tình hướng dẳn, giúp dở và tạo mọi điêu kiện thuận lợi cho tôi trong suôt quá trình học tậ Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano p, nghiên cứu và thực hiện luận án. Nhờ' sự chi bảo tận tình cùa các thây, tôi đă có dược những kiên thức vê khoa học vật liệu, vê các công nghệ chê tNghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
ạo, những kinh nghiệm và phương pháp nghiên cứu, phương pháp viêt bài và đăng bài trên các tạp chí ISI và trên hêt là mờ ra con đường nghiên cứu khoa BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIẺT KÊ VÀ MÓ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÃP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano tạo điẻu kiện vê thời gian, vật Chat và tinh than giúp tỏi hoàn thành luận án.Tỏi xin chân thành càm on GS.TS. Vũ Ngọc Hùng, cùng các anh, chị, em trong phòng thí nghiệm MEMS, Viện ITIMS: ThS. Lê Văn Tâm, TS. Nguyễn Ngọc Minh, NCS. Nguyền Thanh Hương, TS. Nguyễn văn Minh, TS. Nguyễn Thị Quỳnh Chi, T Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano S. Ngô Đức Quân, ThS. Nguyễn Ngọc Sơn... đã chia sè những kinh nghiệm nghiên cứu khoa học, đã động viên và có những tháo luận góp ý giúp tôi hoàn thànNghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
h luận án.Tôi xin chân thành cảm ơn TS. Nguyền Văn Toán đã tạo điêu kiện và hướng dẫn tôi sứ dụng các thiêt bị và làm việc trong phòng sạch.Tôi cũng xBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIẺT KÊ VÀ MÓ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÃP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚN Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano đình, gia đình là hậu phương vững chắc, là chỗ dựa tinh thân đế tôi có thế yên tâm nghiên cứu trong suốt thời gian vừa qua.Hà Nội, ngày .... tháng .... năm 20....Tác giàĐặng Văn HiẽuMỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN.......................................................................iLỜI CÀM ƠN................ Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano .........................................................iiBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIẺT KÊ VÀ MÓ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÃP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚNBỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘIĐặng Văn HiêuNGHIÊN CỨU THIẺT KÊ VÀ MÓ PHÓNG HOẠT ĐỘNG CÚA BỘ VI CHÃP HÀNH MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚNGọi ngay
Chat zalo
Facebook