Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu: PDF

Số trang: 92 Trang

Tài liệu: ✅ ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT

TẢI VỀ

Nội dung chi tiết: Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

HANOI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGYINTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCEThesis of graduationIMPROVING THE SENSITIVITY OF MEMST

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork TUNING FORK GYROSCOPESTUDENT: HA SINH NHATADVISORS: Dr. CHU MANH HOANGAssoc. Prof. Dr. vu NGOC HUNGHanoi, April 2015DEDICATIONThis thesis is submitted

for International Training Institute for Material Science in Ila Noi University of Science and Technology. The work has been carried out in Internati Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

onal Training Institute for Material Science, Number 1, Dai Co Viet. Ha Noi, VielNam since October 2012. Except where specific references arc made, th

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

is thesis is entirely the result of my own work and includes nothing that is the outcome of work done in collaboration. No part of this work has been

HANOI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGYINTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCEThesis of graduationIMPROVING THE SENSITIVITY OF MEMST

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork e result of my two years study in ITIMS where I am trained in the field of materials science with the best study conditions, taken part in exciting an

d interesting scientific seminars of both MEMS group and study class.I would like to say that the obtained results are due to the help of all the memb Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

ers in ITIMS without this help I think that it would be difficult for me to reach this final.Foremost among them are my supervisors Dr. Chu Manli Hoan

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

g and Assoc. Prof. Dr. Vu Ngoc Hung. I would like to express my special thanks to them for many things they had done for me. including their personal

HANOI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGYINTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCEThesis of graduationIMPROVING THE SENSITIVITY OF MEMST

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork Van Hieu for his friendly guidance and for co-examining this thesis.I would like to thank all members of MEMS group. Msc. Nguyen Quang Long, and the

other members who created friendly research environment and shared experiences in practical work.I would also like to thank sincerely to all the teach Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

ers who teach me during time I am studying at ITIMS such as Assoc. Prof. Dr. Nguyen Van Hieu, Assoc. Prof. Dr. Nguyen Phuc Duong. Assoc. Prof. Dr. Ngu

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

yen Anh Tuan. Dr Nguyen Van Quy ... kind librarian Nguyen Phuong Loan and other ITIMS staffs.Finally, at home. I am indebted with my family for their

HANOI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGYINTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCEThesis of graduationIMPROVING THE SENSITIVITY OF MEMST

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork ......................iiACKNOWLEDGEMENT....................................................iiiCONTENTS................................................

............ivLIST OF FIGURES.....................................................viLIST OF TABLES.................................................... Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

...XChapter 1. INTRODUCTION..............................................11.1.The MEMS technology...........................................11.2.MEMS

Nghiên cứu nâng cao độ nhạy của cảm biến đo vận tốc góc kiểu tuning fork

tuning fork gyroscopes...................................31.2.1.The operation principle of gyroscope......................3

HANOI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGYINTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCEThesis of graduationIMPROVING THE SENSITIVITY OF MEMST