Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

➤ Gửi thông báo lỗi ⚠️ Báo cáo tài liệu vi phạm

Loại tài liệu: PDF

Số trang: 79 Trang

Tài liệu: ✅ ĐÃ ĐƯỢC PHÊ DUYỆT

TẢI VỀ

Nội dung chi tiết: Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG dại học khoa học Tự NHIÊNVì THỊ HUYÊN TRANGTÍCH HỢP TỤ ĐIỆN SẲT ĐIỆN MÀNG MÓNG PbZro.4Tiv.6O3 CĨĨÉ TẠO BÀNG PHƯƠNG PHẤP

Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể P DUNG DỊCĨT TRÊN DẺ DƠN TĨNH THẺChuyên ngành: Vật lý chất rắnMa sỗ ; 60440104LUẬN VẤN THẠC sì KHOA HỌC NGƯỜI HƯỚNG DÀN KHOA HỌC: TS. BÙI NGĨTYÊN ọroc

TRÌNHHà Nội -2015LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan Luận vãn này lã kết qua nghiên cứu do tôi thực hiên dưới sự hướng dản khoa học của TS. Bíu Nguyên Quốc Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

Trình. Các kết quá trình hây trong Luận văn lã trung thực chưa dtrợc còng bố trong các cõng trinh nghiên cứu khác.TÔI xin chịu hoàn toàn trách nhiệm v

Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

ề lời cam đoan trên.Học viênVũ Thị Huyền TrangMỤC LỤC LỜI CẢM ƠN.................................................................IBẢNG KỶ HIỆU CHỪ CÁI

Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể ........................................................ivTÓM TÁT.................................................................viiiCHƯƠN G 1 - TONG

QUAN......................................................11.1.ứng dung cua tụ diện sất diện trong công nghiệp diện ur...............11.1.1l ìig dụng Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

trong sensor..............................................11.1.2Trong bộ nhớ FeRAM...................................................71.2.Vật liệu đi

Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

ền hình sử dụng trong lụ điện sàl điện.....................91.2.1Vật liệu cấu trúc peroskite kẹp lớp Bi...............................91.2.2.Họ vật li

Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể háp làng đọng laser xung (PI D) và phún xạ RE..............171.3.2.Phương pháp lẳng dọng pha hơi hóa học..............................191.3.3.Phưong p

háp Sol- gel...............................................201.4.Mục tiêu nghiên cứu luận vãn thạc sĩ.................................23CHƯƠNG 2 PHƯƠN Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

G PHÁP Tllực NGIIIẸM VÀ KIIẤO SẤT...........................252.1.Phương pháp chế tạo diện cực dưới TiOj.Pt............................252.1.1Chế tạo

Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể

lớp Tio,....................................................252.1.2Chế tạo lớp Pt.....................................................262.2.Phương phá

Tích hợp tụ điện sắt điện màng mỏng PbZr0 4Ti0 6O3 chế tạo bằng phương pháp dung dịch trên đế đơn tinh thể h tiền tố trong quá trình quay phú.........................28